Gratias tibi ago pro natura.com adire. Versio navigatoris utens quam subsidia limitata CSS habet. Ad optimam experientiam commendamus ut navigatro renovato uteris (vel inactivare Compatibilitas Modus in Penitus Rimor). Interea, ut subsidia continua conservent, locum sine stylis et JavaScript reddemus.
4H-SiC sicut materia potentiae machinarum semiconductorium commercium est. Attamen, diuturnum firmitatis 4H-SiC machinis impedimentum est eorum late applicationis, et praecipua quaestio constantiae 4H-SiC machinis bipolaris degradatio est. Haec degradatio causatur ab uno Shockley culpae positis (1SSF) propagationis plani basalis luxationes in crystallis 4H-SiC. Methodum hic proponimus expansionis 1SSF suppressionis, inserendo protonas epitaxiales laganas 4H-SiC. PiN diodes in lagana cum protono implantatione fabricati easdem notas voltage- viae currentis ostendit ac diodes sine implantatione protonandi. E contra, 1SSF expansio efficaciter supprimitur in diode protono-inplantata PiN. Ita, implantatio protons in 4H-SiC lagana epitaxialis est efficax methodus ad degradationem bipolarem suppressionem potentiae semiconductoris 4H-SiC, servato artificio perficiendi. Hic effectus ad progressionem maxime certarum cogitationum 4H-SiC confert.
Silicon carbide (SiC) divulgatur sicut materia semiconductoris summi potentiae, alta frequentia semiconductoris machinae quae in ambitus asperis operari possunt. Polytypes SiC multae sunt, inter quas 4H-SiC fabricae physicae semiconductoris egregias proprietates habent ut mobilitatem altam et validam naufragii electrici campi. lagana 4H-SiC cum diametro digitorum 6 nunc mercaturae sunt et adhibitae ad productionem virtutis semiconductoris machinarum molem. Tractio systemata in vehiculis electricis et impedimenta fabricata sunt utens 4H-SiC4.5 potentiae semiconductoris machinas. Nihilominus, 4H-SiC cogitationes adhuc patiuntur quaestiones diuturnae firmitatis ut dielectricae naufragii vel brevis circuitus constantiae, 6,7 quarum una e maximis quaestionibus firmitatis bipolaris est degradatio 2,8,9,10,11. Haec degradatio bipolaris supra XX annos reperta est et iam diu quaestio in fabrica fabricationis SiC facta est.
Degradatio bipolaris causatur ab uno acervo Shockley (1SSF) in crystallis 4H-SiC cum dislocationibus planis basalibus (BPDs) propagatis per recombinationem aucta labefactationis labefactationis (REDG) 12,13,14,15,16,17,18,19. Si igitur expansio BPD ad 1SSF, 4H-SiC supprimatur, machinis potentia sine bipolaris degradatione fabricari potest. Aliquot methodi ad BPD propagationem supprimendam nuntiatae sunt, ut BPD ad sequelam Edge Dislocation (TED) transformationis 20,21,22,23,24. In lagana proximis SiC epitaxialis, BPD maxime adest in subiecto et non in strato epitaxiali ob conversionem BPD ad TED in initio incrementi epitaxialis. Reliqua igitur quaestio degradationis bipolaris est distributio BPD in subiecta 25, 26, 27.. Insertio "compositi roborandi tabulatum" inter summa iacuit et substrata proposita est ut efficax methodus expansionis BPD suppressionis in substrato 28, 29, 30, 31. Haec tabula probabilitatem electronico-foraminis in recombinationem in recombinationem auget. iacuit epitaxial et SiC distent. Numerum electronico-foraminis reducendo reducere vim impulsum REDG ad BPD in substrata redigit, ita compositum stratum supplementi degradationem bipolarem supprimere potest. Animadvertendum est quod immissio accumsan adiuncta gratuita in productione lagana secumfert, et sine iacu insertione difficile est numerum electronico-foraminis minuere, modo moderante vitam ferebat. Ideo adhuc validum opus est ut aliae rationes suppressionis explicandae sint ad meliorem proportionem inter fabricam fabricandi sumptus et cede.
Quia extensio BPD ad 1SSF requirit motum dislocationum partialium (PDs), nudatum PD est accessus spondens ad degradationem bipolaris inhibendam. Etsi PD fibulationem a metallicis sordibus delata est, FPDs in 4H-SiC subiectae ad distantiam plus quam 5 µm a superficie iacuit epitaxialis sita sunt. Praeterea, cum diffusio coëfficientis cujusvis metalli in SIC valde parva sit, difficile est immunditiam metalli diffundere in substratum34. Ob magnam molem atomicam metallorum relative, ion implantatio metallorum etiam difficilis est. E contra, in causa hydrogenii, elementum levissimum, iones (protons) in 4H-SiC inseri possunt ad altitudinem plus quam 10 µm utentes accelerator MeV-classis. Si ergo proton implantatio PD fibulationem afficit, adhiberi potest ad propagationem BPD supprimendam in subiecto. Sed proton implantatio 4H-SiC laedere potest et eventum in arte reducta perficiendi37, 38,39,40.
Ad degradationem machinam superandam ob implantationem protonandi, summus temperatura furnum adhibetur ad damnum reparandum, methodo furnensi similis, quae communiter adhibetur post acceptorem ion implantationem in fabrica processus 1, 40, 41, 42. Etsi spectrometriae secundae ion massae (SIMS) 43 habet. nuntiata hydrogenii diffusio ob caliditatem furnum, fieri potest ut solum densitas atomorum hydrogenii prope FD non satis appareat ad SIMS fibulationem PR utentis. In hoc ergo studio, protona in 4H-SiC epitaxiales lagana ante technicam fabricandi processum inseruimus, inclusa caliditas furnum. Diodes PiN usi sumus ut structurae technicae experimentales et eas in lagana epitaxiales proton-insitas 4H-SiC fabricavimus. Animadvertimus igitur notas volt-ampere ad studium deiectionis fabricae peractae propter iniectionem protonandi. Postmodum animadvertimus expansionem 1SSF in imaginibus electroluminiscentiae (EL) applicatis voltationem electricam ad PiN diode. Denique effectum iniectionis protonii in suppressione expansionis 1SSF confirmavimus.
Pridie fici. Figura 1 notae hodiernae intentionis (CVCs) diodi diodi cella temperie in regionibus cum et sine protono implantatione ostendit priorum venae pulsantis. PiN diodes cum protón iniectione notas rectificationes similes diodis sine protónis injectione ostendunt, quamvis IV notae inter diodes communes sint. Ad indicandam differentiam inter injectiones conditiones, intentionem frequentiae cogitavimus in densitate currenti 2.5 A/cm2 (respondens 100 mA) ut statisticae insidiae ut in Figura 2. Proximae curvae per distributionem normalem repraesentatur. per linea. lineam. Ut ex curvis iugis videri potest, resistentia leviter augetur in protono dosibus 1014 et 1016 cm-2, dum PiN diode cum protono dosi 1012 cm-2 eandem fere indolem ostendit ac sine protono implantatione. . Etiam protonae implantationem post fabricationem diodi PiN perfecerunt quae electroluminitatem uniformem non exhibuerunt ob damnum implantationis protonum causatum sicut in Figura S1 demonstratum est, sicut in superioribus studiis37,38,39 descriptum est. Ideo furnum ad 1600 °C post implantationem Al ionum necessarius est processus ad machinas fabricandas ad excitandum acceptorem Al, qui damnum reparare potest per implantationem protonandi, quod CVCs facit idem inter insita et protona PiN diodes non implantata. . Frequentia in -5 V eversa occurrens etiam in Figura S2 exhibetur, nulla notabilis differentia inter diodes cum injectione et sine protono.
Volt-ampere characteristica diodi PIN cum et sine protonibus in cella temperie injecta. Legenda indicat dose protons.
Frequentia intentionis ad currentem directam 2.5 A/cm2 pro diodis PiN cum protonibus injectis et non-injectis. Linea punctata respondet normali distributioni.
Pridie fici. 3 EL imaginem diodi PiN cum densitate currentis 25 A/cm2 post intentionem ostendit. Priusquam applicando onus venae pulsetur, regiones diodae obscurae non observatae sunt, ut in Figura 3. C2. Sed ut in fig. 3a, in diode PiN sine protón implantatione, variae regiones obscurae striatae cum levibus marginibus observatae sunt post intentionem electricam applicandam. Tales regiones virgae fuscae observantur in imaginibus EL pro 1SSF ab BPD in substrato extensis 28.29. Sed quaedam vitia positis extensa observata sunt in Diodes PiN cum protonibus insitis, ut in Fig. 3b-d. Usus topographiae X-radius, praesentiam PRs quae ab BPD substrata movere potest, in periferia contactus in PiN diode sine protono injectione confirmavimus (Fig. 4: hanc imaginem sine summo electrode sublato (photographo, PR) sub electrodes non visibile est). Videos S3-S6 cum locis obscuris et sine extenso (tempus variatis EL imaginum de PiN diodi sine protono injectione et insita ad 1014 cm-2), in Accessiones Informationes monstrantur.
EL imagines PiN diodi ad 25 A/cm2 post 2 horas accentus electrica (a) sine protono implantatione et dosibus implantatorum (b) 1012 cm-2, (c) 1014 cm-2 et (d) 1016 cm-2 protons.
Densitatem 1SSF dilatatam computavimus, areolis obscuris computatis cum marginibus lucidis in tribus diodis piN pro unaquaque conditione, ut in Figura 5. Densitas 1SSF expansi decrescat cum dosi protono crescentis, et etiam ad dose 1012 cm-2; densitas 1SSF expansi signanter inferior quam in PiN diode non plantata est.
Densitates SF PiN diodi auctae cum et sine protono implantatione oneratae cum vena pulsante (in unaquaque civitate tres diodes onerato comprehenduntur).
Abbreviatio ferebat vita etiam suppressionem expansionem afficit, et protonia iniectio tabellarius vitam minuit 32,36. Viventes notavimus tabellarium in strato epitaxiali 60 µm crasso cum protonibus 1014 cm-2 injectis. Ab initio tabellarii vita, licet implantatio valorem ad ~10% reducat, sequens furnum reddit ad ~50%, sicut in Fig. S7. Ergo vita ferebat, redacta ob implantationem protonom, restauratur per summus furnum temperatus. Etsi minutio electronica in vita vehiculi propagationem etiam vitiorum positis supprimit, characteres I-V, quae more vitae vehiculi dependentes sunt, parvas tantum differentias inter diodes injectas et non plantatas ostendunt. Propterea credimus PD ancoras ancoras partes habere in expansione 1SSF inhibendo.
Quamvis SIMS hydrogenii subreptione in 1600°C non deprehendere, ut in superioribus studiis relatum est, effectum protoniae implantationis suppressionis expansionis 1SSF observavimus, ut in Figuris 1 et 4. 3, ostensum est. PD ab atomis hydrogenii densitate subicitur, limitem SIMS detectionis (II × 1016 cm-3) vel punctorum defectuum implantationis inductam fixit. Notandum est, incrementum in statu resistentiae non confirmavisse propter elongationem 1SSF post onus aestus currentis. Hoc contingere potest ex contactibus ohmicis imperfectis utentes processus nostros, qui in proximo futuro tollentur.
In fine, methodum extinctionem elaboravimus ad extendendam BPD ad 1SSF in 4H-SiC PiN diodes utentes protón implantationem ante fabricam fabricandi. Depravatio notae I-V in implantatione protonis parva est, praesertim in protono dosi 1012 cm-2, sed effectus 1SSF expansionis suppressionis notabilis est. Etsi in hoc studio 10 µm crassum PiN diodes cum protonia implantatione ad altitudinem 10 µm fabricavimus, potest tamen adhuc condiciones implantationis optimizare et eas ad alias rationes 4H-SiC machinis fabricare. Adiectis sumptibus fabricae fabricationis in protón implantatione considerari debent, sed similes erunt illis implantationis aluminium ion, quod est principale processus fabricandi pro 4H-SiC potentiae machinis. Sic proton implantatio prior ad fabricam processus est methodus potentialis ad machinas potentiae 4H-SiC bipolaris fabricandas sine corruptione.
A 4-inch n-type 4H-SiC laganum cum strato epitaxiali crassitudinis 10 µm et donatoris concentratio 1 1016 cm-3 adhibita est in exemplum. Priusquam fabricam expedias, H+ iones in laminam cum acceleratione energiae 0,95 MeV in cella temperie ad altitudinem circiter 10 µm in angulo normali usque ad superficiem insertae sunt. In implantatione protónis persona in scutella adhibita est, et bractea sectiones sine et cum protono dosi 1012, 1014 vel 1016 cm-2 habebat. Deinde Al iones cum protono cyathis 1020 et 1017 cm-3 insertae sunt super totum laganum in altitudinem 0-0.2 µm et 0.2-0.5 µm ex superficie, subsecutae furnum ad 1600°C ut pileum carbonii formarent. forma ap iacuit. -typum. Postmodum, lateris posterioris NI contactus in latere subiecto posita erat, dum 2.0 mm × 2.0 mm Ti/al-vum figuratum lateris anterioris contactum a photolithographia formatum et processum cortices in latere epitaxiali positum est. Denique contactus furnum exercetur ad temperiem DCC °C. Post laganum in astulas secandum, accentus characterem et applicationem praestiti sumus.
Notae I-V fabricatorum PiN diodi observatae sunt utens parametri analysris semiconductoris HP4155B. Cum accentus electrica, pulsus 10-million secundo currens of 212.5 A/cm2 introducta est per 2 horas ad frequentiam 10 pulsuum/sec. Cum inferiorem densitatem vel frequentiam currentem elegimus, expansionem 1SSF etiam in PiN diode sine protono iniectione non servavimus. In intentione electrica applicata, temperatura PiN diodae est circa 70°C sine calefactione intentionis, ut in Figura S8 ostensum est. Imagines electroluminescentes ante et post accentus electricam obtinuerunt in densitate currenti 25 A/cm2. Synchrotron repercussio pascentis incidentiae topographiae X radius monochromatico X radiorum radiorum (λ = 0,15 um ) apud Aichi Synchrotron Centrum Radiationis, ag vector in BL8S2 est -1-128 vel 11-28 (vide ref. 44 ad singula) . ).
Frequentia in intentione densitatis deinceps currentis 2.5 A/cm2 extrahitur cum intervallo 0.5 V in fig. 2 juxta cujusque statum CVC Diodorum PiN. Ex medio valore accentus Vave et vexillum declinationis σ accentus, machinamur curvam distributionem normalem in forma lineae punctatae in Figura 2 utendo sequentem aequationem;
Werner, MR & Fahrner, WR Recognoscere materias, microsensores, systemata et machinas ad applicationes altae et durae ambitus. Werner, MR & Fahrner, WR Recognoscere materias, microsensores, systemata et machinas ad applicationes altae et durae ambitus.Werner, MR et Farner, WR Overview materiarum, microsensores, systemata et machinas applicationes in calidis et asperis ambitibus. Werner, MR & Fahrner, WR Werner, MR & Fahrner, WR Recognitio materiarum, microsensorum, systematum et machinarum pro caliditate et adversis applicationibus environmental.Werner, MR et Farner, WR Overview materiarum, microsensores, systemata et machinas applicationes ad altas temperaturas et graues conditiones.IEEE Trans. Aliquam eu nisl. 48, 249-257 (2001).
Kimoto, T. & Cooper, J. A. Fundamenta artis Siliconis Carbide Technologiae Fundamenta Siliconis Carbide Technologiae: Augmentum, Characterization, Fabrica et Applications Vol. Kimoto, T. & Cooper, J. A. Fundamenta artis Siliconis Carbide Technologiae Fundamenta Siliconis Carbide Technologiae: Augmentum, Characterization, Fabrica et Applications Vol.Kimoto, T. et Cooper, J. A. Basics of Silicon Carbide Technology Basics of Silicon Carbide Technology: Augmentum, Characteres, Devices et Applications Vol. Kimoto, T. & Cooper, JA Kimoto, T. & Cooper, JA Carbon化silicon basis technologiae carbonsilicon basis: incrementum, descriptionem, apparatum et applicationem voluminis.Kimoto, T. Cooper, J. Basics of Silicon Carbide Technology Basics of Silicon Carbide Technology: Augmentum, Characteres, Equipment and Applications Vol.252 (Wiley Singapore Pte Ltd, 2014).
Veliadis, V. Magnae Commercializationis SiC: Status Quo et Impedimenta superanda. alma mater. de scientia. Forum 1062, 125-130 (2022).
Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR & Joshi, YK Recensio technologiae packaging technologiarum pro automotiva potestate electronicorum ad proposita tractus. Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR & Joshi, YK Recensio technologiae packaging technologiarum pro automotiva potestate electronicorum ad proposita tractus.Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR et Joshi, YK Conspectus technologiarum technologiarum fasciculorum ad automotivas potentias electronicas ad tractiones faciendas. Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR & Joshi, YK Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR & Joshi, YKBroughton, J., Smet, V., Tummala, RR et Joshi, YK Conspectus technologiae technicae scelerisque in automotiva potestate electronicarum tractationis proposita.J. Electron. Sarcina. excessus mentis. ASME 140, 1-11 (2018).
Sato, K., Kato, H. & Fukushima, T. Progressio SiC applicatae tractus systematis generationis Shinkansen summus velocitatis impedimenta proximae. Sato, K., Kato, H. & Fukushima, T. Progressio SiC applicatae tractus systematis generationis Shinkansen summus velocitatis impedimenta proximae.Sato K., Kato H. et Fukushima T. Progressus systematis tractus SiC applicati ad impedimenta generationis summus velocitatis Shinkansen.Sato K., Kato H. et Fukushima T. Tractio Systematis Progressio ad Applicationes Sicales ad Generationem Proximum Shinkansen Trains. Appendix IEEJ J. Ind. 9, 453–459 (2020).
Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. & Okumura, H. Provocationes ad cognoscendas opes certissimas SiC cogitationes: Ex hodierno statu et exitibus SiC lagana. Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. & Okumura, H. Provocationes ad cognoscendas opes certissimas SiC cogitationes: Ex hodierno statu et exitibus SiC lagana.Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. et Okumura, H. Problemata in exsequenda certissima potentiae machinarum SiC: incipiens a statu praesenti et problema laganum SiC. Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. & Okumura, H. SiC SiC Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. & Okumura, H. Provocatio assequendi altam firmitatem in artibus virtutis SiC: ex SiCSenzaki J, Hayashi S, Yonezawa Y. et Okumura H. Provocat in evolutione summi certaminis machinarum potentiarum quae carbide silicone nituntur: recognitionem status et problemata cum carbide lagana pii associata.Ad 2018 IEEE Symposium Internationalis de Reliability Physicorum (IRPS). (Senzaki, J. et al. eds.) 3B.3-1-3B.3-6 (IEEE, 2018).
Kim, D. & Sung, W. Improved brevi-circuitu asperitatis pro 1.2kV 4H-SiC MOSFET utens profundo P-bene perficiendo per implantationem tramitem. Kim, D. & Sung, W. Improved brevi-circuitu asperitatis pro 1.2kV 4H-SiC MOSFET utens profundo P-bene perficiendo per implantationem tramitem.Kim, D. et Sung, V. Improved brevi circuitio immunitatis pro 1.2 kV 4H-SiC MOSFET utens profundo P bene implendo per canalem implantationem. Kim, D. & Sung, W. P 阱提高了1.2kV 4H-SiC MOSFET Kim, D. & Sung, W. P 1.2kV 4H-SiC MOSFETKim, D. et Sung, V. Melior brevis circumitus tolerantia 1.2 kv 4H-SiC MOSFETs utens profundis P-puteis per canalem implantationem.IEEE Electronic Fabricae Lect. 42, 1822-1825 (2021).
Skowronski M. et al. Recombinatio aucta motuum defectuum in promptu 4H-SiC pn Diodorum. J. Applicatio. physicam. 92, 4699–4704 (2002).
Ha, S., Mieszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, LB Luxatio conversionis in 4H pii carbide epitaxy. Ha, S., Mieszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, LB Luxatio conversionis in 4H pii carbide epitaxy.Ha S., Meszkowski P., Skowronski M. et Rowland LB Luxatio transmutationis in 4H pii carbide epitaxy. Ha, S., Mieszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, LB 4H Ha, S., Mieszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, LB 4H. Ha, S., Meszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, LB .Luxatio transitus 4H in epitaxy pii carbide.J. Crystal. Augmentum 244, 257-266 (202).
Skowronski, M. & Ha, S. Degradatio sexangulorum pii-carbide-bipolaris substructio. Skowronski, M. & Ha, S. Degradatio sexangulorum pii-carbide-bipolaris substructio.Skowronski M. et Ha S. Degradatio machinis hexagonis bipolaris in carbide Pii fundatis. Skowronski, M. & Ha, S. Skowronski M. & Ha S.Skowronski M. et Ha S. Degradatio machinis hexagonis bipolaris in carbide Pii fundatis.J. Applicatio. physica 99, 011101 (2006).
Agarwal, A., Fatima, H., Haney, S. & Ryu, S.-H. Agarwal, A., Fatima, H., Haney, S. & Ryu, S.-H.Agarwal A., Fatima H., Heini S. et Ryu S.-H. Agarwal, A., Fatima, H., Haney, S. & Ryu, S.-H. Agarwal, A., Fatima, H., Haney, S. & Ryu, S.-H.Agarwal A., Fatima H., Heini S. et Ryu S.-H.Nova degradatio mechanismi pro alta intentione SiC potentia MOSFETs. IEEE Electronic Fabricae Lect. 28, 587-589 (2007).
Caldwell, JD, Stahlbush, RE, Anconae, MG, Glembocki, OJ & Hobart, KD De vi impulsus ad recombinationem inducta positionem motus culpae in 4H-SiC. Caldwell, JD, Stahlbush, RE, Anconae, MG, Glembocki, OJ & Hobart, KD De vi impulsus ad recombinationem inducta positionem motus in 4H-SiC.Caldwell, JD, Stalbush, RE, Anconae, MG, Glemboki, OJ, Hobart, KD De pulsis vi recombinationis inducta positis motu culpae in 4H-SiC. Caldwell, JD, Stahlbush, RE, Ancona, MG, Glembocki, OJ & Hobart, KD 4H-SiC Caldwell, JD, Stahlbush, RE, Ancona, MG, Glembocki, OJ & Hobart, KD.Caldwell, JD, Stalbush, RE, Anconae, MG, Glemboki, OJ, et Hobart, KD, De pulsis vi recombinationis inducta positis motu culpae in 4H-SiC.J. Applicatio. physicam. 108, 044503 (2010).
Iijima, A. & Kimoto, T. exemplar industriae Electronic pro uno Shockley positis vitio formationis in crystallis 4H-SiC. Iijima, A. & Kimoto, T. exemplar industriae Electronic pro uno Shockley positis vitio formationis in crystallis 4H-SiC.Iijima, A. et Kimoto, T. Electron-energiae exemplar formationis singularium vitiorum Shockley stipendii in 4H-SiC crystallis. Iijima, A. & Kimoto, T. 4H-SiC Shockley Iijima, A. & Kimoto, T. Electronic energiae exemplar unius Shockley positis vitio formationis in 4H-SiC crystallum.Iijima, A. et Kimoto, T. Electron-energiae exemplar formationis singularis defectus Shockley stipendiis in crystallis 4H-SiC.J. Applicatio. physica 126, 105703 (2019).
Iijima, A. & Kimoto, T. Aestimatio conditionis criticae dilatationis / contractionis unius Shockley vitia positis in 4H-SiC PiN diodis. Iijima, A. & Kimoto, T. Aestimatio conditionis criticae dilatationis / contractionis unius Shockley vitia positis in 4H-SiC PiN diodis.Iijima, A. et Kimoto, T. Aestimatio status critici ad expansionem/compressionem vitiorum singularum Shockley sarcinarum in 4H-SiC PiN-diodes. Iijima, A. & Kimoto, T. 4H-SiC PiN Shockley 堆垛层错膨胀/收缩的临界条件。 Iijima, A. & Kimoto, T. Aestimatio unius Shockley iacuit expansionem positis / conditionibus contractionis in 4H-SiC PiN diodi.Iijima, A. et Kimoto, T. Aestimatio conditionum criticarum ad expansionem/compressionem unius defectus stipationis Shockley in 4H-SiC PiN-diodis.applicatio physicae Wright. 116, 092105 (2020).
Mannen, Y., Shimada, K., Asada, K. & Ohtani, N. Quantum bene agendi exemplar pro formatione unius Shockley culpa positis in 4H-SiC crystallis sub conditionibus non aequilibrio. Mannen, Y., Shimada, K., Asada, K. & Ohtani, N. Quantum bene agendi exemplar pro formatione unius Shockley culpa positis in 4H-SiC crystallis sub conditionibus non aequilibrio.Mannen Y., Shimada K., Asada K., Otani N. Quantum bene exemplar formationis unius Shockley culpa positis in 4H-SiC crystallis sub nonaequilibris conditionibus.Mannen Y., Shimada K., Asada K. et Otani N. Quantum exemplar bene commercii ad formationem unius Shockley vitia positis in 4H-SiC crystallis sub nonequilibrio conditionibus. J. Applicatio. physicam. 125, 085705 (2019).
Galeckas, A., Linnros, J. & Pirouz, P. Recombinationem inducta culpis positis: Testimonia generalis mechanismi in hexagonali SiC. Galeckas, A., Linnros, J. & Pirouz, P. Recombinationem inducta culpis positis: Testimonia generalis mechanismi in hexagonali SiC.Galeckas, A., Linnros, J. et Pirouz, P. Recombinationem inducta sarcina Defectus: Testimonium pro Mechanismo communi in Hexagonal SiC. Galeckas, A., Linnros, J. & Pirouz, P. SiC Galeckas, A., Linnros, J. & Pirouz, P. Testimonia generalis mechanismi compositae inductionis positis iacuit: 六方SiC.Galeckas, A., Linnros, J. et Pirouz, P. Recombinationem inducta sarcina Defectus: Testimonium pro Mechanismo communi in Hexagonal SiC.physica Pastor Wright. 96, 025502 (2006).
Ishikawa, Y., Sudo, M., Yao, Y.-Z., Sugawara, Y. & Kato, M. Expansio unius Shockley culpa positis in 4H-SiC (11 2 0) epitaxialis iacuit electronico causatus. trabem irradiatio.Ishikawa , Y. , M. Sudo , Y.-Z radius irradiatio.Ishikawa, Y., Sudo M., Y.-Z Psychology.Arca, ., . удо, Y.-Z Chem., J. Chem., 123, 225101 (2018).
Kato, M., Katahira, S., Ichikawa, Y., Harada, S. & Kimoto, T. Observatio ferebat recombinationem in una Shockley positis culpis et defectibus partialibus in 4H-SiC. Kato, M., Katahira, S., Ichikawa, Y., Harada, S. & Kimoto, T. Observatio ferebat recombinationem in una Shockley positis culpis et defectibus partialibus in 4H-SiC.Kato M., Katahira S., Itikawa Y., Harada S. et Kimoto T. Observatio Recombinationis Carrier in Single Shockley sarcina Defectus et Partiales Dislocationes in 4H-SiC. Kato, M., Katahira, S., Ichikawa, Y., Harada, S. & Kimoto, T. Shockley 4H-SiC Kato, M., Katahira, S., Ichikawa, Y., Harada, S. & Kimoto, T. Shockley positis positis 4H-SiC partialibusKato M., Katahira S., Itikawa Y., Harada S. et Kimoto T. Observatio Recombinationis Carrier in Single Shockley sarcina Defectus et Partiales Dislocationes in 4H-SiC.J. Applicatio. physicae 124, 095702 (2018).
Kimoto, T. & Watanabe, H. Defectus machinalis in technologia SiC pro summus intentionis potentiae machinas. Kimoto, T. & Watanabe, H. Defectus machinalis in technologia SiC pro summus intentionis potentiae machinas.Kimoto, T. et Watanabe, H. Progressus defectuum in technologia SiC pro alta intentione potentiarum machinarum. Kimoto, T. & Watanabe, H. SiC Kimoto, T. & Watanabe, H. Defectus machinalis in technologia SiC pro summus intentionis potentiae machinas.Kimoto, T. et Watanabe, H. Progressus defectuum in technologia SiC pro alta intentione potentiarum machinarum.applicatio physicae Express 13, 120101 (2020).
Zhang, Z. & Sudarshan, TS Basal planum dislocatione libero epitaxy carbidi pii. Zhang, Z. & Sudarshan, TS Basal planum dislocatione libero epitaxy carbidi pii.Zhang Z. et Sudarshan TS Dislocatione libero epitaxy carbidi pii in plano basali. Zhang, Z. & Sudarshan, TS Zhang, Z. & Sudarshan, TSZhang Z. et Sudarshan TS Dislocatione libero epitaxia de planis basalibus carbide pii.editio. physicam. Wright. 87, 151913 (2005).
Zhang, Z., Moulton, E. & Sudarshan, TS Mechanismus eliminandi dislocationes plani basalis in tenuibus pelliculis SiC epitaxy in substrata notata. Zhang, Z., Moulton, E. & Sudarshan, TS Mechanismus eliminandi dislocationes plani basalis in tenuibus pelliculis SiC epitaxy in substrata notata.Zhang Z., Moulton E. et Sudarshan TS Mechanismus eliminationis basi plani dislocationes in membrana SiC tenuissima epitaxia in subiecto signato. Zhang, Z., Moulton, E. & Sudarshan, TS SiC Zhang, Z., Moulton, E. & Sudarshan, TS Mechanismum eliminationis SiC tenues pelliculae per engraving substratum.Zhang Z., Moulton E. et Sudarshan TS Mechanismus eliminationis basi plani dislocationes in membrana SiC tenui epitaxia in subiecta subiecta.applicatio physicae Wright. 89, 081910 (2006).
Shtalbush RE et al. Incrementum interruptionis ad diminutionem in plano basali dislocationes epitaxiae 4H-SiC perducit. editio. physicam. Wright. 94, 041916 (2009).
Zhang, X. & Tsuchida, H. Conversio dislocationes plani basalis ad crepidinem dislocationes in 4H-SiC epilayers ab caliditate furnum. Zhang, X. & Tsuchida, H. Conversio dislocationes plani basalis ad crepidinem dislocationes in 4H-SiC epilayers ab caliditate furnum.Zhang, X. et Tsuchida, H. Transformatio plani basalis dislocationes in marginem linum dislocationes in stratis epitaxialibus 4H-SiC ab caliditate furnum. Zhang, X. & Tsuchida, H. 4H-SiC Zhang, X. & Tsuchida, H. 4H-SiC .Zhang, X. et Tsuchida, H. Transformatio bases planae dislocationes in marginem filamentorum dislocationes in stratis epitaxialibus 4H-SiC ab caliditate furnum.J. Applicatio. physicam. 111, 123512 (2012).
Song, H. & Sudarshan, TS Inordinatio plani basalis conversionis prope epilayer/substrata interfaciei in incremento epitaxiali 4° off-axis 4H-SiC. Song, H. & Sudarshan, TS Inordinatio plani basalis conversionis prope epilayer/substrata interfaciei in incremento epitaxiali 4° off-axis 4H-SiC.Song, H. et Sudarshan, TS Transformatio dislocationis plani basalis prope epitaxialem stratum/substratum interfaciem in axiis epitaxialis incrementi 4H-SiC. Song, H. & Sudarshan, TS 4° 4H-SiC /衬底界面附近的基底平面位错转换。 Song, H. & Sudarshan, TS 4° 4H-SiC Canticum, H. & Sudarshan, TS .Transitus planaris dislocationis subiecti prope stratum epitaxialem/substratum in termino epitaxiali incrementi 4H-SiC extra 4° axis.J. Crystal. Augmentum 371, 94–101 (2013).
Konishi, K. et al. In vena alta, propagatio plani basilaris dislocationis culpae positis in 4H-SiC stratis epitaxialibus in bracteas luxationes transformat. J. Applicatio. physicam. 114, 014504 (2013).
Konishi, K. et al. Design epitaxiales stratis bipolaris non-degradandis SiC MOSFETs detectis extensis positis culpae nucleationis locis in operationalibus X-radii topographicis analysi. AIP Advanced 12, 035310 (2022).
Lin, S. et al. Influentia in structuram dislocationis plani basalis in propagatione unius generis Shockley culpae positis in praecedente corruptione currentis 4H-SiC clavorum diodi. Iaponia. J. Applicatio. physicam. 57, 04FR07 (2018).
Tahara, T., et al. Brevis minoritas tabellionis vita in nitrogenio-dives 4H-SiC epilayers adhibita est ad positis culpis supprimendis in Diode PiN. J. Applicatio. physicam. 120, 115101 (2016).
Tahara, T. et al. Tabellarius injectus dependentiae concentrationis unius Shockley positis in culpa propagationis in 4H-SiC PiN diodis. J. Applicatio. Physica 123, 025707 (2018).
Mae, S., Tawara, T., Tsuchida, H. & Kato, M. systema Microscopica FCA pro profunditate ferebat mensurae viventis in SiC. Mae, S., Tawara, T., Tsuchida, H. & Kato, M. systema Microscopica FCA pro profunditate ferebat mensurae viventis in SiC.Mei, S., Tawara, T., Tsuchida, H. et Kato, M. FCA Microscopica Systema Depth-Resolved Carrier Vitarum mensuris in Silicon Carbide. Mae, S.、Tawara, T.、Tsuchida, H. & Kato, M. SiC FCA Mae, S.、Tawara, T.、Tsuchida, H. & Kato, M. SiC mediae altitudinis vitae mensurae FCA system.Mei S., Tawara T., Tsuchida H. et Kato M. systema Micro-FCA ferebat mensuras vitales in carbide profunditate resolutas.alma mater scientia Forum 924, 269-272 (2018).
Hirayma, T. et al. Altitudo tabellarii vitarum distributio in stratis 4H-SiC epitaxialibus spissis mensuratus est non-destructive utens tempore resolutionis liberae tabellionis effusio et in lucem transiit. Vertas ad scientiam. metrum. 91, 123902 (2020).
Post tempus: Nov-06-2022
