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4H-SiC को विद्युत अर्धचालक उपकरणों के लिए एक सामग्री के रूप में व्यावसायीकरण किया गया है। हालाँकि, 4H-SiC उपकरणों की दीर्घकालिक विश्वसनीयता उनके व्यापक अनुप्रयोग में एक बाधा है, और 4H-SiC उपकरणों की सबसे महत्वपूर्ण विश्वसनीयता समस्या द्विध्रुवी गिरावट है। यह गिरावट 4H-SiC क्रिस्टल में बेसल प्लेन डिस्लोकेशन के एकल शॉक्ले स्टैकिंग फॉल्ट (1SSF) प्रसार के कारण होती है। यहां, हम 4H-SiC एपिटैक्सियल वेफर्स पर प्रोटॉन प्रत्यारोपित करके 1SSF विस्तार को दबाने की एक विधि प्रस्तावित करते हैं। प्रोटॉन इम्प्लांटेशन के साथ वेफर्स पर निर्मित पीआईएन डायोड ने प्रोटॉन इम्प्लांटेशन के बिना डायोड के समान वर्तमान-वोल्टेज विशेषताओं को दिखाया। इसके विपरीत, 1SSF विस्तार को प्रोटॉन-प्रत्यारोपित PiN डायोड में प्रभावी ढंग से दबा दिया जाता है। इस प्रकार, 4H-SiC एपिटैक्सियल वेफर्स में प्रोटॉन का प्रत्यारोपण डिवाइस के प्रदर्शन को बनाए रखते हुए 4H-SiC पावर सेमीकंडक्टर उपकरणों के द्विध्रुवी क्षरण को दबाने के लिए एक प्रभावी तरीका है। यह परिणाम अत्यधिक विश्वसनीय 4H-SiC उपकरणों के विकास में योगदान देता है।
सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) को व्यापक रूप से उच्च-शक्ति, उच्च-आवृत्ति अर्धचालक उपकरणों के लिए अर्धचालक सामग्री के रूप में मान्यता प्राप्त है जो कठोर वातावरण में काम कर सकते हैं1। कई SiC पॉलीटाइप हैं, जिनमें से 4H-SiC में उत्कृष्ट अर्धचालक उपकरण भौतिक गुण हैं जैसे उच्च इलेक्ट्रॉन गतिशीलता और मजबूत ब्रेकडाउन विद्युत क्षेत्र2। 6 इंच व्यास वाले 4H-SiC वेफर्स का वर्तमान में व्यावसायीकरण किया जाता है और पावर सेमीकंडक्टर उपकरणों3 के बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए उपयोग किया जाता है। इलेक्ट्रिक वाहनों और ट्रेनों के लिए ट्रैक्शन सिस्टम 4H-SiC4.5 पावर सेमीकंडक्टर उपकरणों का उपयोग करके निर्मित किए गए थे। हालाँकि, 4H-SiC डिवाइस अभी भी ढांकता हुआ ब्रेकडाउन या शॉर्ट-सर्किट विश्वसनीयता जैसे दीर्घकालिक विश्वसनीयता मुद्दों से ग्रस्त हैं, जिनमें से सबसे महत्वपूर्ण विश्वसनीयता मुद्दों में से एक द्विध्रुवी गिरावट 2,8,9,10,11 है। यह द्विध्रुवी क्षरण 20 साल पहले खोजा गया था और लंबे समय से SiC डिवाइस निर्माण में एक समस्या रही है।
द्विध्रुवी क्षरण बेसल प्लेन डिस्लोकेशन (बीपीडी) के साथ 4H-SiC क्रिस्टल में एकल शॉक्ले स्टैक दोष (1SSF) के कारण होता है, जो पुनर्संयोजन संवर्धित डिस्लोकेशन ग्लाइड (REDG) 12,13,14,15,16,17,18,19 द्वारा फैलता है। इसलिए, यदि BPD विस्तार को 1SSF तक दबा दिया जाता है, तो 4H-SiC बिजली उपकरणों को द्विध्रुवी क्षरण के बिना निर्मित किया जा सकता है। बीपीडी प्रसार को दबाने के लिए कई तरीकों की सूचना दी गई है, जैसे बीपीडी से थ्रेड एज डिस्लोकेशन (टीईडी) परिवर्तन 20,21,22,23,24। नवीनतम SiC एपिटैक्सियल वेफर्स में, एपिटैक्सियल विकास के प्रारंभिक चरण के दौरान बीपीडी के टीईडी में रूपांतरण के कारण बीपीडी मुख्य रूप से सब्सट्रेट में मौजूद होता है, न कि एपिटैक्सियल परत में। इसलिए, द्विध्रुवी क्षरण की शेष समस्या सब्सट्रेट 25,26,27 में बीपीडी का वितरण है। सब्सट्रेट28, 29, 30, 31 में बीपीडी विस्तार को दबाने के लिए बहाव परत और सब्सट्रेट के बीच एक "समग्र सुदृढ़ीकरण परत" की प्रविष्टि को एक प्रभावी विधि के रूप में प्रस्तावित किया गया है। यह परत इलेक्ट्रॉन-छेद जोड़ी पुनर्संयोजन की संभावना को बढ़ाती है। एपिटैक्सियल परत और SiC सब्सट्रेट। इलेक्ट्रॉन-छेद जोड़े की संख्या कम करने से सब्सट्रेट में REDG की प्रेरक शक्ति BPD तक कम हो जाती है, इसलिए समग्र सुदृढीकरण परत द्विध्रुवी क्षरण को दबा सकती है। यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि एक परत के सम्मिलन से वेफर्स के उत्पादन में अतिरिक्त लागत आती है, और एक परत के सम्मिलन के बिना केवल वाहक जीवनकाल के नियंत्रण को नियंत्रित करके इलेक्ट्रॉन-छेद जोड़े की संख्या को कम करना मुश्किल है। इसलिए, उपकरण निर्माण लागत और उपज के बीच बेहतर संतुलन हासिल करने के लिए अन्य दमन विधियों को विकसित करने की अभी भी सख्त आवश्यकता है।
चूँकि BPD को 1SSF तक विस्तारित करने के लिए आंशिक अव्यवस्थाओं (PDs) की गति की आवश्यकता होती है, PD को पिन करना द्विध्रुवी क्षरण को रोकने के लिए एक आशाजनक दृष्टिकोण है। यद्यपि धातु की अशुद्धियों द्वारा पीडी पिनिंग की सूचना दी गई है, 4H-SiC सब्सट्रेट्स में FPDs एपिटैक्सियल परत की सतह से 5 माइक्रोन से अधिक की दूरी पर स्थित हैं। इसके अलावा, चूंकि SiC में किसी भी धातु का प्रसार गुणांक बहुत छोटा है, इसलिए धातु की अशुद्धियों का सब्सट्रेट34 में फैलना मुश्किल है। धातुओं के अपेक्षाकृत बड़े परमाणु द्रव्यमान के कारण, धातुओं का आयन आरोपण भी मुश्किल होता है। इसके विपरीत, हाइड्रोजन के मामले में, सबसे हल्के तत्व, आयनों (प्रोटॉन) को MeV-वर्ग त्वरक का उपयोग करके 10 µm से अधिक की गहराई तक 4H-SiC में प्रत्यारोपित किया जा सकता है। इसलिए, यदि प्रोटॉन इम्प्लांटेशन पीडी पिनिंग को प्रभावित करता है, तो इसका उपयोग सब्सट्रेट में बीपीडी प्रसार को दबाने के लिए किया जा सकता है। हालाँकि, प्रोटॉन इम्प्लांटेशन 4H-SiC को नुकसान पहुंचा सकता है और इसके परिणामस्वरूप डिवाइस का प्रदर्शन कम हो सकता है37,38,39,40।
प्रोटॉन इम्प्लांटेशन के कारण डिवाइस के क्षरण को दूर करने के लिए, क्षति की मरम्मत के लिए उच्च तापमान एनीलिंग का उपयोग किया जाता है, डिवाइस प्रोसेसिंग1, 40, 41, 42 में स्वीकर्ता आयन इम्प्लांटेशन के बाद आमतौर पर उपयोग की जाने वाली एनीलिंग विधि के समान। हालांकि सेकेंडरी आयन मास स्पेक्ट्रोमेट्री (SIMS)43 में है उच्च तापमान एनीलिंग के कारण हाइड्रोजन प्रसार की सूचना दी गई है, यह संभव है कि केवल एफडी के पास हाइड्रोजन परमाणुओं का घनत्व SIMS का उपयोग करके पीआर की पिनिंग का पता लगाने के लिए पर्याप्त नहीं है। इसलिए, इस अध्ययन में, हमने उच्च तापमान एनीलिंग सहित डिवाइस निर्माण प्रक्रिया से पहले प्रोटॉन को 4H-SiC एपिटैक्सियल वेफर्स में प्रत्यारोपित किया। हमने प्रायोगिक उपकरण संरचनाओं के रूप में PiN डायोड का उपयोग किया और उन्हें प्रोटॉन-प्रत्यारोपित 4H-SiC एपिटैक्सियल वेफर्स पर तैयार किया। फिर हमने प्रोटॉन इंजेक्शन के कारण डिवाइस के प्रदर्शन में गिरावट का अध्ययन करने के लिए वोल्ट-एम्पीयर विशेषताओं का अवलोकन किया। इसके बाद, हमने PiN डायोड पर विद्युत वोल्टेज लगाने के बाद इलेक्ट्रोल्यूमिनसेंस (ईएल) छवियों में 1SSF का विस्तार देखा। अंत में, हमने 1SSF विस्तार के दमन पर प्रोटॉन इंजेक्शन के प्रभाव की पुष्टि की।
अंजीर पर. चित्र 1 स्पंदित धारा से पहले प्रोटॉन आरोपण वाले और बिना वाले क्षेत्रों में कमरे के तापमान पर पीआईएन डायोड की वर्तमान-वोल्टेज विशेषताओं (सीवीसी) को दर्शाता है। प्रोटॉन इंजेक्शन के साथ PiN डायोड प्रोटॉन इंजेक्शन के बिना डायोड के समान सुधार विशेषताएँ दिखाते हैं, भले ही IV विशेषताएँ डायोड के बीच साझा की जाती हैं। इंजेक्शन स्थितियों के बीच अंतर को इंगित करने के लिए, हमने 2.5 ए/सेमी2 (100 एमए के अनुरूप) के आगे के वर्तमान घनत्व पर वोल्टेज आवृत्ति को एक सांख्यिकीय प्लॉट के रूप में प्लॉट किया जैसा कि चित्र 2 में दिखाया गया है। सामान्य वितरण द्वारा अनुमानित वक्र को भी दर्शाया गया है एक बिंदीदार रेखा द्वारा. रेखा। जैसा कि वक्रों की चोटियों से देखा जा सकता है, 1014 और 1016 सेमी-2 की प्रोटॉन खुराक पर ऑन-प्रतिरोध थोड़ा बढ़ जाता है, जबकि 1012 सेमी-2 की प्रोटॉन खुराक के साथ पीआईएन डायोड लगभग प्रोटॉन आरोपण के बिना समान विशेषताओं को दिखाता है। . हमने PiN डायोड के निर्माण के बाद प्रोटॉन इम्प्लांटेशन भी किया, जो कि प्रोटॉन इम्प्लांटेशन से होने वाले नुकसान के कारण एक समान इलेक्ट्रोल्यूमिनेशन प्रदर्शित नहीं करता था, जैसा कि चित्र S1 में दिखाया गया है, जैसा कि पिछले अध्ययन37,38,39 में वर्णित है। इसलिए, अल आयनों के आरोपण के बाद 1600 डिग्री सेल्सियस पर एनीलिंग, अल स्वीकर्ता को सक्रिय करने के लिए उपकरणों के निर्माण के लिए एक आवश्यक प्रक्रिया है, जो प्रोटॉन आरोपण के कारण होने वाली क्षति की मरम्मत कर सकता है, जो सीवीसी को प्रत्यारोपित और गैर-प्रत्यारोपित प्रोटॉन पीआईएन डायोड के बीच समान बनाता है। . -5 V पर रिवर्स वर्तमान आवृत्ति भी चित्र S2 में प्रस्तुत की गई है, प्रोटॉन इंजेक्शन वाले और बिना प्रोटॉन इंजेक्शन वाले डायोड के बीच कोई महत्वपूर्ण अंतर नहीं है।
कमरे के तापमान पर इंजेक्ट किए गए प्रोटॉन के साथ और बिना PiN डायोड की वोल्ट-एम्पीयर विशेषताएँ। किंवदंती प्रोटॉन की खुराक को इंगित करती है।
इंजेक्टेड और गैर-इंजेक्टेड प्रोटॉन के साथ PiN डायोड के लिए प्रत्यक्ष धारा 2.5 A/cm2 पर वोल्टेज आवृत्ति। बिंदीदार रेखा सामान्य वितरण से मेल खाती है।
अंजीर पर. 3 वोल्टेज के बाद 25 ए/सेमी2 के वर्तमान घनत्व के साथ एक पीआईएन डायोड की ईएल छवि दिखाता है। स्पंदित धारा भार लागू करने से पहले, डायोड के अंधेरे क्षेत्रों का अवलोकन नहीं किया गया था, जैसा कि चित्र 3. सी2 में दिखाया गया है। हालांकि, जैसा चित्र में दिखाया गया है। 3ए, प्रोटॉन प्रत्यारोपण के बिना एक पीआईएन डायोड में, विद्युत वोल्टेज लगाने के बाद हल्के किनारों वाले कई गहरे धारीदार क्षेत्र देखे गए। सब्सट्रेट28,29 में बीपीडी से फैले 1एसएसएफ के लिए ईएल छवियों में ऐसे रॉड के आकार के अंधेरे क्षेत्र देखे जाते हैं। इसके बजाय, प्रत्यारोपित प्रोटॉन के साथ PiN डायोड में कुछ विस्तारित स्टैकिंग दोष देखे गए, जैसा कि चित्र 3 बी-डी में दिखाया गया है। एक्स-रे स्थलाकृति का उपयोग करते हुए, हमने पीआर की उपस्थिति की पुष्टि की जो प्रोटॉन इंजेक्शन के बिना पीआईएन डायोड में संपर्कों की परिधि पर बीपीडी से सब्सट्रेट तक जा सकती है (चित्र 4: यह छवि शीर्ष इलेक्ट्रोड को हटाए बिना (फोटो खींची गई, पीआर) इलेक्ट्रोड के नीचे दिखाई नहीं देता है)। इसलिए, ईएल छवि में अंधेरा क्षेत्र सब्सट्रेट में विस्तारित 1एसएसएफ बीपीडी से मेल खाता है। अन्य लोड किए गए पिन डायोड की ईएल छवियां चित्र 1 और 2 में दिखाई गई हैं। वीडियो S3-S6 विस्तारित के साथ और बिना। अंधेरे क्षेत्र (प्रोटॉन इंजेक्शन के बिना और 1014 सेमी-2 पर प्रत्यारोपित किए गए पीआईएन डायोड की समय-भिन्न ईएल छवियां) भी पूरक सूचना में दिखाए गए हैं।
2 घंटे के विद्युत तनाव के बाद 25 ए/सेमी2 पर पीआईएन डायोड की ईएल छवियां (ए) प्रोटॉन आरोपण के बिना और (बी) 1012 सेमी-2, (सी) 1014 सेमी-2 और (डी) 1016 सेमी-2 की प्रत्यारोपित खुराक के साथ प्रोटोन.
हमने प्रत्येक स्थिति के लिए तीन PiN डायोड में चमकीले किनारों वाले अंधेरे क्षेत्रों की गणना करके विस्तारित 1SSF के घनत्व की गणना की, जैसा कि चित्र 5 में दिखाया गया है। विस्तारित 1SSF का घनत्व बढ़ती प्रोटॉन खुराक के साथ घटता है, और यहां तक कि 1012 सेमी-2 की खुराक पर भी, विस्तारित 1SSF का घनत्व गैर-प्रत्यारोपित PiN डायोड की तुलना में काफी कम है।
स्पंदित धारा के साथ लोड करने के बाद प्रोटॉन आरोपण के साथ और उसके बिना एसएफ पीआईएन डायोड की बढ़ी हुई घनत्व (प्रत्येक स्थिति में तीन लोड किए गए डायोड शामिल हैं)।
वाहक जीवनकाल को छोटा करने से विस्तार दमन भी प्रभावित होता है, और प्रोटॉन इंजेक्शन वाहक जीवनकाल को कम कर देता है। हमने 1014 सेमी-2 के इंजेक्टेड प्रोटॉन के साथ 60 µm मोटी एपिटैक्सियल परत में वाहक जीवनकाल देखा है। प्रारंभिक वाहक जीवनकाल से, हालांकि प्रत्यारोपण मूल्य को ~10% तक कम कर देता है, बाद में एनीलिंग इसे ~50% तक पुनर्स्थापित कर देता है, जैसा कि चित्र S7 में दिखाया गया है। इसलिए, प्रोटॉन आरोपण के कारण कम हुआ वाहक जीवनकाल, उच्च तापमान एनीलिंग द्वारा बहाल किया जाता है। यद्यपि वाहक जीवन में 50% की कमी भी स्टैकिंग दोषों के प्रसार को रोकती है, I-V विशेषताएँ, जो आम तौर पर वाहक जीवन पर निर्भर होती हैं, इंजेक्शन और गैर-प्रत्यारोपित डायोड के बीच केवल मामूली अंतर दिखाती हैं। इसलिए, हमारा मानना है कि पीडी एंकरिंग 1SSF विस्तार को रोकने में एक भूमिका निभाती है।
हालाँकि SIMS ने 1600°C पर एनीलिंग के बाद हाइड्रोजन का पता नहीं लगाया, जैसा कि पिछले अध्ययनों में बताया गया है, हमने 1SSF विस्तार के दमन पर प्रोटॉन आरोपण के प्रभाव को देखा, जैसा कि चित्र 1 और 4 में दिखाया गया है। 3, 4। इसलिए, हम मानते हैं कि पीडी SIMS (2 × 1016 सेमी-3) या आरोपण से प्रेरित बिंदु दोषों की पहचान सीमा से कम घनत्व वाले हाइड्रोजन परमाणुओं द्वारा लंगर डाला गया है। यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि हमने सर्ज करंट लोड के बाद 1SSF के बढ़ाव के कारण ऑन-स्टेट प्रतिरोध में वृद्धि की पुष्टि नहीं की है। यह हमारी प्रक्रिया का उपयोग करके बनाए गए अपूर्ण ओमिक संपर्कों के कारण हो सकता है, जिसे निकट भविष्य में समाप्त कर दिया जाएगा।
अंत में, हमने डिवाइस निर्माण से पहले प्रोटॉन इम्प्लांटेशन का उपयोग करके 4H-SiC PiN डायोड में BPD को 1SSF तक विस्तारित करने के लिए एक शमन विधि विकसित की। प्रोटॉन आरोपण के दौरान I-V विशेषता में गिरावट नगण्य है, विशेष रूप से 1012 सेमी-2 की प्रोटॉन खुराक पर, लेकिन 1SSF विस्तार को दबाने का प्रभाव महत्वपूर्ण है। यद्यपि इस अध्ययन में हमने 10 µm की गहराई तक प्रोटॉन प्रत्यारोपण के साथ 10 µm मोटे PiN डायोड का निर्माण किया, फिर भी आरोपण स्थितियों को और अधिक अनुकूलित करना और उन्हें अन्य प्रकार के 4H-SiC उपकरणों के निर्माण के लिए लागू करना संभव है। प्रोटॉन इम्प्लांटेशन के दौरान डिवाइस निर्माण के लिए अतिरिक्त लागतों पर विचार किया जाना चाहिए, लेकिन वे एल्यूमीनियम आयन इम्प्लांटेशन के समान होंगे, जो 4H-SiC पावर उपकरणों के लिए मुख्य निर्माण प्रक्रिया है। इस प्रकार, डिवाइस प्रसंस्करण से पहले प्रोटॉन आरोपण अध: पतन के बिना 4H-SiC द्विध्रुवी बिजली उपकरणों के निर्माण के लिए एक संभावित तरीका है।
10 µm की एपिटैक्सियल परत की मोटाई और 1 × 1016 सेमी-3 के डोनर डोपिंग सांद्रण के साथ 4-इंच एन-टाइप 4H-SiC वेफर को नमूने के रूप में इस्तेमाल किया गया था। डिवाइस को संसाधित करने से पहले, H+ आयनों को कमरे के तापमान पर 0.95 MeV की त्वरण ऊर्जा के साथ प्लेट की सतह पर एक सामान्य कोण पर लगभग 10 μm की गहराई तक प्रत्यारोपित किया गया था। प्रोटॉन प्रत्यारोपण के दौरान, एक प्लेट पर एक मास्क का उपयोग किया गया था, और प्लेट में 1012, 1014, या 1016 सेमी-2 की प्रोटॉन खुराक के बिना और अनुभाग थे। फिर, 1020 और 1017 सेमी-3 की प्रोटॉन खुराक के साथ अल आयनों को पूरे वेफर पर सतह से 0-0.2 µm और 0.2-0.5 µm की गहराई तक प्रत्यारोपित किया गया, इसके बाद कार्बन कैप बनाने के लिए 1600 डिग्री सेल्सियस पर एनीलिंग किया गया। एपी परत बनाएं। -प्रकार। इसके बाद, सब्सट्रेट साइड पर एक बैक साइड नी संपर्क जमा किया गया था, जबकि फोटोलिथोग्राफी और एक छील प्रक्रिया द्वारा गठित 2.0 मिमी × 2.0 मिमी कंघी के आकार का टीआई/अल फ्रंट साइड संपर्क एपिटैक्सियल परत साइड पर जमा किया गया था। अंत में, संपर्क एनीलिंग 700 डिग्री सेल्सियस के तापमान पर किया जाता है। वेफर को चिप्स में काटने के बाद, हमने तनाव लक्षण वर्णन और अनुप्रयोग किया।
HP4155B सेमीकंडक्टर पैरामीटर विश्लेषक का उपयोग करके निर्मित PiN डायोड की I-V विशेषताओं को देखा गया। विद्युत तनाव के रूप में, 212.5 ए/सेमी2 की 10-मिलीसेकंड स्पंदित धारा को 10 पल्स/सेकंड की आवृत्ति पर 2 घंटे के लिए पेश किया गया था। जब हमने कम वर्तमान घनत्व या आवृत्ति को चुना, तो हमने प्रोटॉन इंजेक्शन के बिना एक PiN डायोड में भी 1SSF विस्तार नहीं देखा। लागू विद्युत वोल्टेज के दौरान, जानबूझकर हीटिंग के बिना पीआईएन डायोड का तापमान लगभग 70°C होता है, जैसा चित्र S8 में दिखाया गया है। 25 ए/सेमी2 के वर्तमान घनत्व पर विद्युत तनाव से पहले और बाद में इलेक्ट्रोल्यूमिनसेंट छवियां प्राप्त की गईं। आइची सिंक्रोट्रॉन विकिरण केंद्र में एक मोनोक्रोमैटिक एक्स-रे बीम (λ = 0.15 एनएम) का उपयोग करके सिंक्रोट्रॉन प्रतिबिंब चराई घटना एक्स-रे स्थलाकृति, बीएल 8 एस 2 में एजी वेक्टर -1-128 या 11-28 है (विवरण के लिए संदर्भ 44 देखें) . ).
2.5 ए/सेमी2 के आगे के वर्तमान घनत्व पर वोल्टेज आवृत्ति को अंजीर में 0.5 वी के अंतराल के साथ निकाला जाता है। 2 PiN डायोड की प्रत्येक स्थिति के CVC के अनुसार। तनाव तरंग के माध्य मान और तनाव के मानक विचलन σ से, हम निम्नलिखित समीकरण का उपयोग करके चित्र 2 में एक बिंदीदार रेखा के रूप में एक सामान्य वितरण वक्र बनाते हैं:
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कैल्डवेल, जेडी, स्टाहल्बुश, आरई, एंकोना, एमजी, ग्लेम्बोकी, ओजे और होबार्ट, केडी 4H-SiC में पुनर्संयोजन-प्रेरित स्टैकिंग फॉल्ट गति के लिए प्रेरक शक्ति पर। कैल्डवेल, जेडी, स्टाहल्बुश, आरई, एंकोना, एमजी, ग्लेम्बोकी, ओजे और होबार्ट, केडी 4H-SiC में पुनर्संयोजन-प्रेरित स्टैकिंग फॉल्ट गति के लिए प्रेरक शक्ति पर।कैल्डवेल, जेडी, स्टैल्बुश, आरई, एंकोना, एमजी, ग्लेम्बोकी, ओजे, और होबार्ट, केडी 4H-SiC में पुनर्संयोजन-प्रेरित स्टैकिंग फॉल्ट मोशन की प्रेरक शक्ति पर। काल्डवेल, जेडी, स्टाहल्बुश, आरई, एंकोना, एमजी, ग्लेम्बोकी, ओजे और होबार्ट, केडी 4H-SiC के बारे में अधिक जानें। काल्डवेल, जेडी, स्टाहल्बुश, आरई, एंकोना, एमजी, ग्लेम्बोकी, ओजे और होबार्ट, केडीकैल्डवेल, जेडी, स्टैल्बुश, आरई, एंकोना, एमजी, ग्लेम्बोकी, ओजे, और होबार्ट, केडी, 4H-SiC में पुनर्संयोजन-प्रेरित स्टैकिंग फॉल्ट मोशन की प्रेरक शक्ति पर।जे. आवेदन. भौतिक विज्ञान। 108, 044503 (2010)।
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इइजिमा, ए. और किमोटो, टी. 4H-SiC PiN डायोड में एकल शॉक्ले स्टैकिंग दोषों के विस्तार/संकुचन के लिए महत्वपूर्ण स्थिति का अनुमान। इइजिमा, ए. और किमोटो, टी. 4H-SiC PiN डायोड में एकल शॉक्ले स्टैकिंग दोषों के विस्तार/संकुचन के लिए महत्वपूर्ण स्थिति का अनुमान।इइजिमा, ए. और किमोटो, टी. 4H-SiC PiN-डायोड में एकल शॉक्ले पैकिंग दोषों के विस्तार/संपीड़न के लिए महत्वपूर्ण स्थिति का अनुमान। इइजिमा, ए. और किमोटो, टी. 4H-SiC PiN के बारे में शॉक्ले के बारे में जानकारी प्राप्त करें/收缩的临界条件。 इइजिमा, ए. और किमोटो, टी. 4H-SiC PiN डायोड में एकल शॉक्ले स्टैकिंग परत विस्तार/संकुचन स्थितियों का अनुमान।इजीमा, ए. और किमोटो, टी. 4H-SiC PiN-डायोड में एकल दोष पैकिंग शॉक्ले के विस्तार/संपीड़न के लिए महत्वपूर्ण स्थितियों का अनुमान।अनुप्रयोग भौतिकी राइट। 116, 092105 (2020)।
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काटो, एम., कटहीरा, एस., इचिकावा, वाई., हराडा, एस. और किमोटो, टी. एकल शॉक्ले स्टैकिंग दोषों में और 4H-SiC में आंशिक अव्यवस्थाओं पर वाहक पुनर्संयोजन का अवलोकन। काटो, एम., कटहीरा, एस., इचिकावा, वाई., हराडा, एस. और किमोटो, टी. एकल शॉक्ले स्टैकिंग दोषों में और 4H-SiC में आंशिक अव्यवस्थाओं पर वाहक पुनर्संयोजन का अवलोकन।काटो एम., कटाहिरा एस., इतिकावा वाई., हरदा एस. और किमोटो टी. 4H-SiC में सिंगल शॉक्ले पैकिंग दोष और आंशिक अव्यवस्था में कैरियर पुनर्संयोजन का अवलोकन। काटो, एम., कटाहिरा, एस., इचिकावा, वाई., हरदा, एस. और किमोटो, टी. शॉक्ले और 4H-SiC के लिए एक पेशेवर विशेषज्ञ। काटो, एम., कटहीरा, एस., इचिकावा, वाई., हरदा, एस. और किमोटो, टी. शॉक्ले स्टैकिंग स्टैकिंग और 4H-SiC आंशिक के बारे में जानें।काटो एम., कटाहिरा एस., इतिकावा वाई., हरदा एस. और किमोटो टी. 4H-SiC में सिंगल शॉक्ले पैकिंग दोष और आंशिक अव्यवस्था में कैरियर पुनर्संयोजन का अवलोकन।जे. आवेदन. भौतिकी 124, 095702 (2018)।
किमोटो, टी. और वतनबे, एच. उच्च वोल्टेज बिजली उपकरणों के लिए SiC प्रौद्योगिकी में दोष इंजीनियरिंग। किमोटो, टी. और वतनबे, एच. उच्च वोल्टेज बिजली उपकरणों के लिए SiC प्रौद्योगिकी में दोष इंजीनियरिंग।किमोटो, टी. और वतनबे, एच. उच्च वोल्टेज बिजली उपकरणों के लिए SiC प्रौद्योगिकी में दोषों का विकास। किमोटो, टी. और वातानाबे, एच. SiC के लिए एक पेशेवर वैज्ञानिक के रूप में काम करता है। किमोटो, टी. और वतनबे, एच. उच्च वोल्टेज बिजली उपकरणों के लिए SiC प्रौद्योगिकी में दोष इंजीनियरिंग।किमोटो, टी. और वतनबे, एच. उच्च वोल्टेज बिजली उपकरणों के लिए SiC प्रौद्योगिकी में दोषों का विकास।अनुप्रयोग भौतिकी एक्सप्रेस 13, 120101 (2020)।
झांग, जेड और सुदर्शन, टीएस बेसल प्लेन डिस्लोकेशन-फ्री एपिटैक्सी ऑफ सिलिकॉन कार्बाइड। झांग, जेड और सुदर्शन, टीएस बेसल प्लेन डिस्लोकेशन-फ्री एपिटैक्सी ऑफ सिलिकॉन कार्बाइड।झांग ज़ेड और सुदर्शन टीएस बेसल प्लेन में सिलिकॉन कार्बाइड की अव्यवस्था-मुक्त एपिटैक्सी। झांग, जेड और सुदर्शन, टीएस 碳化硅基面无位错外延。 झांग, जेड और सुदर्शन, टीएसझांग ज़ेड और सुदर्शन टीएस सिलिकॉन कार्बाइड बेसल विमानों की अव्यवस्था-मुक्त एपिटैक्सी।कथन। भौतिक विज्ञान। राइट. 87, 151913 (2005)।
झांग, जेड., मौलटन, ई. और सुदर्शन, टीएस एक नक़्क़ाशीदार सब्सट्रेट पर एपिटेक्सी द्वारा SiC पतली फिल्मों में बेसल प्लेन डिस्लोकेशन को खत्म करने का तंत्र। झांग, जेड., मौलटन, ई. और सुदर्शन, टीएस एक नक़्क़ाशीदार सब्सट्रेट पर एपिटेक्सी द्वारा SiC पतली फिल्मों में बेसल प्लेन डिस्लोकेशन को खत्म करने का तंत्र।झांग ज़ेड, मौलटन ई. और सुदर्शन टीएस एक नक़्क़ाशीदार सब्सट्रेट पर एपिटेक्सी द्वारा SiC पतली फिल्मों में बेस प्लेन डिस्लोकेशन को खत्म करने का तंत्र। झांग, जेड., मौलटन, ई. और सुदर्शन, टीएस 通过在蚀刻衬底上外延消除SiC 薄膜中基面位错的机制。 झांग, जेड., मौलटन, ई. और सुदर्शन, टीएस सब्सट्रेट को खोदकर SiC पतली फिल्म को खत्म करने का तंत्र।झांग जेड, मौलटन ई. और सुदर्शन टीएस नक़्क़ाशीदार सब्सट्रेट्स पर एपिटेक्सी द्वारा SiC पतली फिल्मों में बेस प्लेन डिस्लोकेशन को खत्म करने का तंत्र।अनुप्रयोग भौतिकी राइट। 89, 081910 (2006)।
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झांग, एक्स. और त्सुचिडा, एच. उच्च तापमान एनीलिंग द्वारा 4H-SiC एपिलेयर में बेसल प्लेन डिस्लोकेशन को थ्रेडिंग एज डिस्लोकेशन में परिवर्तित करना। झांग, एक्स. और त्सुचिडा, एच. उच्च तापमान एनीलिंग द्वारा 4H-SiC एपिलेयर में बेसल प्लेन डिस्लोकेशन को थ्रेडिंग एज डिस्लोकेशन में परिवर्तित करना।झांग, एक्स और त्सुचिडा, एच। उच्च तापमान एनीलिंग द्वारा 4H-SiC एपिटैक्सियल परतों में बेसल प्लेन डिस्लोकेशन को थ्रेडिंग एज डिस्लोकेशन में बदलना। झांग, एक्स और त्सुचिडा, एच। झांग, एक्स. और त्सुचिदा, एच. 通过高温退火将4H-SiCझांग, एक्स और त्सुचिडा, एच। उच्च तापमान एनीलिंग द्वारा 4H-SiC एपिटैक्सियल परतों में बेस प्लेन डिस्लोकेशन को फिलामेंट एज डिस्लोकेशन में बदलना।जे. आवेदन. भौतिक विज्ञान। 111, 123512 (2012)।
सॉन्ग, एच. और सुदर्शन, टीएस एपिलेयर/सब्सट्रेट इंटरफेस के पास 4° ऑफ-एक्सिस 4H-SiC के एपिटैक्सियल ग्रोथ में बेसल प्लेन डिस्लोकेशन रूपांतरण। सॉन्ग, एच. और सुदर्शन, टीएस एपिलेयर/सब्सट्रेट इंटरफेस के पास 4° ऑफ-एक्सिस 4H-SiC के एपिटैक्सियल ग्रोथ में बेसल प्लेन डिस्लोकेशन रूपांतरण।सॉन्ग, एच. और सुदर्शन, टीएस 4H-SiC की ऑफ-एक्सिस एपिटैक्सियल वृद्धि के दौरान एपिटैक्सियल परत/सब्सट्रेट इंटरफेस के पास बेसल प्लेन डिस्लोकेशन का परिवर्तन। सॉन्ग, एच. और सुदर्शन, टीएस 4° 离轴4H-SiC 外延生长中外延层/衬底界面附近的基底平面位错转换。 सॉन्ग, एच. और सुदर्शन, टीएस 4° से 4H-SiC सॉन्ग, एच. और सुदर्शन, टीएस4° अक्ष के बाहर 4H-SiC की एपिटैक्सियल वृद्धि के दौरान एपिटैक्सियल परत/सब्सट्रेट सीमा के पास सब्सट्रेट का तलीय अव्यवस्था संक्रमण।जे. क्रिस्टल. ग्रोथ 371, 94-101 (2013)।
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कोनिशी, के. एट अल. परिचालन एक्स-रे स्थलाकृतिक विश्लेषण में विस्तारित स्टैकिंग फॉल्ट न्यूक्लिएशन साइटों का पता लगाकर द्विध्रुवी गैर-अपघटनीय SiC MOSFETs के लिए एपिटैक्सियल परतें डिज़ाइन करें। एआईपी एडवांस्ड 12, 035310 (2022)।
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मॅई, एस., तवारा, टी., त्सुचिडा, एच. और काटो, एम. सीआईसी में गहराई से हल किए गए वाहक जीवनकाल माप के लिए माइक्रोस्कोपिक एफसीए प्रणाली। मॅई, एस., तवारा, टी., त्सुचिडा, एच. और काटो, एम. सीआईसी में गहराई से हल किए गए वाहक जीवनकाल माप के लिए माइक्रोस्कोपिक एफसीए प्रणाली।मेई, एस., तवारा, टी., त्सुचिडा, एच. और काटो, एम. सिलिकॉन कार्बाइड में गहराई से हल किए गए कैरियर लाइफटाइम माप के लिए एफसीए माइक्रोस्कोपिक सिस्टम। मॅई, एस., तवारा, टी., त्सुचिदा, एच. और काटो, एम. 用于SiC 中深度分辨载流子寿命测量的显微FCA 系统。 मॅई, एस., तवारा, टी., त्सुचिडा, एच. और काटो, एम. SiC मध्यम-गहराई के लिए जीवनकाल माप के लिए FCA प्रणाली।मेई एस., तवारा टी., त्सुचिडा एच. और काटो एम. सिलिकॉन कार्बाइड में गहराई से हल किए गए वाहक जीवनकाल माप के लिए माइक्रो-एफसीए प्रणाली।अल्मा मेटर साइंस फोरम 924, 269-272 (2018)।
हिरयामा, टी. एट अल. मोटी 4H-SiC एपिटैक्सियल परतों में वाहक जीवनकाल के गहराई वितरण को मुक्त वाहक अवशोषण और पार किए गए प्रकाश के समय रिज़ॉल्यूशन का उपयोग करके गैर-विनाशकारी रूप से मापा गया था। विज्ञान पर स्विच करें. मीटर. 91, 123902 (2020)।
पोस्ट करने का समय: नवंबर-06-2022
