Hvala vam što ste posjetili Nature.com. Verzija pretraživača koju koristite ima ograničenu podršku za CSS. Za najbolje iskustvo, preporučujemo da koristite ažurirani pretraživač (ili onemogućite način kompatibilnosti u Internet Exploreru). U međuvremenu, kako bismo osigurali kontinuiranu podršku, prikazat ćemo stranicu bez stilova i JavaScripta.
4H-SiC je komercijaliziran kao materijal za energetske poluvodičke uređaje. Međutim, dugoročna pouzdanost 4H-SiC uređaja je prepreka njihovoj širokoj primjeni, a najvažniji problem pouzdanosti 4H-SiC uređaja je bipolarna degradacija. Ova degradacija je uzrokovana jednim Shockleyjevim slaganjem (1SSF) širenjem dislokacija bazalne ravni u 4H-SiC kristalima. Ovdje predlažemo metodu za suzbijanje ekspanzije 1SSF implantacijom protona na 4H-SiC epitaksijalne pločice. PiN diode proizvedene na pločicama sa protonskom implantacijom pokazale su iste strujno-naponske karakteristike kao diode bez protonske implantacije. Nasuprot tome, ekspanzija 1SSF je efektivno potisnuta u protonsko implantiranoj PiN diodi. Dakle, implantacija protona u 4H-SiC epitaksijalne pločice je efikasna metoda za suzbijanje bipolarne degradacije 4H-SiC energetskih poluvodičkih uređaja uz održavanje performansi uređaja. Ovaj rezultat doprinosi razvoju visokopouzdanih 4H-SiC uređaja.
Silicijum karbid (SiC) je široko poznat kao poluprovodnički materijal za poluprovodničke uređaje velike snage i visoke frekvencije koji mogu da rade u teškim okruženjima1. Postoji mnogo SiC politipova, među kojima 4H-SiC ima izvrsna fizička svojstva poluvodičkih uređaja kao što su visoka pokretljivost elektrona i jako električno polje proboja2. 4H-SiC pločice prečnika 6 inča su trenutno komercijalizovane i koriste se za masovnu proizvodnju energetskih poluvodičkih uređaja3. Vučni sistemi za električna vozila i vozove proizvedeni su pomoću 4H-SiC4.5 energetskih poluvodičkih uređaja. Međutim, 4H-SiC uređaji i dalje pate od dugoročnih problema s pouzdanošću kao što su dielektrični kvar ili pouzdanost kratkog spoja,6,7 od kojih je jedan od najvažnijih problema pouzdanosti bipolarna degradacija2,8,9,10,11. Ova bipolarna degradacija otkrivena je prije više od 20 godina i dugo je bila problem u proizvodnji SiC uređaja.
Bipolarna degradacija je uzrokovana jednim Shockley stack defektom (1SSF) u 4H-SiC kristalima s dislokacijama bazalne ravni (BPD) koje se šire rekombinacijom poboljšanog klizanja dislokacije (REDG)12,13,14,15,16,17,18,19. Stoga, ako je ekspanzija BPD-a potisnuta na 1SSF, 4H-SiC energetski uređaji se mogu proizvesti bez bipolarne degradacije. Prijavljeno je nekoliko metoda za suzbijanje širenja BPD-a, kao što je transformacija BPD u dislokaciju ivice niti (TED) 20,21,22,23,24. U najnovijim SiC epitaksijalnim pločicama, BPD je uglavnom prisutan u supstratu, a ne u epitaksijalnom sloju zbog konverzije BPD-a u TED tokom početne faze epitaksijalnog rasta. Stoga je preostali problem bipolarne degradacije distribucija BPD-a u supstratu 25,26,27. Umetanje "kompozitnog ojačavajućeg sloja" između drift sloja i supstrata predloženo je kao efikasna metoda za suzbijanje ekspanzije BPD u supstratu28, 29, 30, 31. Ovaj sloj povećava vjerovatnoću rekombinacije para elektron-rupa u epitaksijalni sloj i SiC supstrat. Smanjenje broja parova elektron-rupa smanjuje pokretačku silu REDG-a do BPD-a u podlozi, tako da kompozitni sloj za ojačanje može potisnuti bipolarnu degradaciju. Treba napomenuti da umetanje sloja povlači dodatne troškove u proizvodnji vafla, a bez umetanja sloja teško je smanjiti broj parova elektron-rupa kontroliranjem samo kontrole vijeka trajanja nosača. Stoga još uvijek postoji jaka potreba za razvojem drugih metoda suzbijanja kako bi se postigla bolja ravnoteža između troškova proizvodnje uređaja i prinosa.
Budući da proširenje BPD-a na 1SSF zahtijeva kretanje parcijalnih dislokacija (PD), pričvršćivanje PD-a je obećavajući pristup za inhibiciju bipolarne degradacije. Iako je prijavljeno PD pričvršćivanje metalnim nečistoćama, FPD u 4H-SiC supstratima nalaze se na udaljenosti većoj od 5 μm od površine epitaksijalnog sloja. Osim toga, budući da je koeficijent difuzije bilo kojeg metala u SiC vrlo mali, teško je da metalne nečistoće difundiraju u podlogu34. Zbog relativno velike atomske mase metala, jonska implantacija metala je također teška. Nasuprot tome, u slučaju vodonika, najlakši element, ioni (protoni) mogu se implantirati u 4H-SiC na dubinu veću od 10 µm koristeći akcelerator klase MeV. Stoga, ako implantacija protona utječe na pričvršćivanje PD-a, onda se može koristiti za suzbijanje širenja BPD-a u supstratu. Međutim, implantacija protona može oštetiti 4H-SiC i rezultirati smanjenim performansama uređaja37,38,39,40.
Da bi se prevazišla degradacija uređaja zbog implantacije protona, žarenje na visokoj temperaturi koristi se za popravku oštećenja, slično metodi žarenja koja se obično koristi nakon implantacije akceptorskih jona u obradi uređaja1, 40, 41, 42. Iako sekundarna ionska masena spektrometrija (SIMS)43 ima Izvještaj o difuziji vodika zbog žarenja na visokim temperaturama, moguće je da samo gustina atoma vodika u blizini FD nije dovoljna za detekciju pričvršćivanja PR-a pomoću SIMS-a. Stoga smo u ovoj studiji implantirali protone u 4H-SiC epitaksijalne pločice prije procesa proizvodnje uređaja, uključujući žarenje na visokim temperaturama. Koristili smo PiN diode kao eksperimentalne strukture uređaja i proizveli ih na protonskim implantiranim 4H-SiC epitaksijalnim pločicama. Zatim smo posmatrali karakteristike volt-ampera da bismo proučavali degradaciju performansi uređaja usled ubrizgavanja protona. Nakon toga, primijetili smo ekspanziju 1SSF na slikama elektroluminiscencije (EL) nakon primjene električnog napona na PiN diodu. Konačno, potvrdili smo efekat ubrizgavanja protona na supresiju ekspanzije 1SSF.
Na sl. Slika 1 prikazuje strujno-naponske karakteristike (CVC) PiN dioda na sobnoj temperaturi u regijama sa i bez implantacije protona prije impulsne struje. Pin diode sa ubrizgavanjem protona pokazuju karakteristike ispravljanja slične diodama bez ubrizgavanja protona, iako su IV karakteristike dijeljene između dioda. Da bismo ukazali na razliku između uslova ubrizgavanja, nacrtali smo frekvenciju napona pri gustoći struje od 2,5 A/cm2 (što odgovara 100 mA) kao statistički dijagram kao što je prikazano na slici 2. Kriva aproksimirana normalnom distribucijom je također predstavljena isprekidanom linijom. linija. Kao što se vidi iz vrhova krivulja, otpornost na proton malo raste pri dozama protona od 1014 i 1016 cm-2, dok PiN dioda sa dozom protona od 1012 cm-2 pokazuje gotovo iste karakteristike kao bez implantacije protona. . Također smo izvršili implantaciju protona nakon proizvodnje PiN dioda koje nisu pokazivale ujednačenu elektroluminiscenciju zbog oštećenja uzrokovanog implantacijom protona kao što je prikazano na slici S1 kao što je opisano u prethodnim studijama37,38,39. Stoga je žarenje na 1600 °C nakon implantacije Al iona neophodan proces za proizvodnju uređaja za aktiviranje akceptora Al, koji može popraviti oštećenje uzrokovano implantacijom protona, što čini CVC-ove istim između implantiranih i neimplantiranih protonskih PiN dioda. . Frekvencija reverzne struje na -5 V je također prikazana na slici S2, nema značajne razlike između dioda sa i bez ubrizgavanja protona.
Volt-amper karakteristike PiN dioda sa i bez ubrizganih protona na sobnoj temperaturi. Legenda ukazuje na dozu protona.
Frekvencija napona pri istosmjernoj struji 2,5 A/cm2 za PiN diode sa ubrizganim i neinjektiranim protonima. Isprekidana linija odgovara normalnoj raspodjeli.
Na sl. 3 prikazuje EL sliku PiN diode sa gustinom struje od 25 A/cm2 nakon napona. Prije primjene pulsnog strujnog opterećenja, tamni dijelovi diode nisu uočeni, kao što je prikazano na slici 3. C2. Međutim, kao što je prikazano na sl. 3a, u PiN diodi bez implantacije protona, uočeno je nekoliko tamnih prugastih područja sa svijetlim rubovima nakon primjene električnog napona. Takve tamne regije u obliku štapa uočene su na EL slikama za 1SSF koje se protežu od BPD-a u supstratu28,29. Umjesto toga, uočene su neke proširene greške slaganja u PiN diodama sa implantiranim protonima, kao što je prikazano na slici 3b–d. Koristeći rendgensku topografiju, potvrdili smo prisustvo PR-a koji se mogu kretati od BPD-a do supstrata na periferiji kontakata u PiN diodi bez ubrizgavanja protona (slika 4: ova slika bez uklanjanja gornje elektrode (fotografirano, PR ispod elektroda nije vidljivo, tamno područje na EL snimku odgovara proširenom 1SSF BPD-u u EL slikama drugih napunjenih PiN dioda. tamna područja (vremenski promjenjive EL slike PiN dioda bez protonske injekcije i implantirane na 1014 cm-2) su također prikazane u Dodatnim informacijama.
EL slike PiN dioda pri 25 A/cm2 nakon 2 sata električnog stresa (a) bez implantacije protona i sa implantiranim dozama od (b) 1012 cm-2, (c) 1014 cm-2 i (d) 1016 cm-2 protona.
Gustoću proširenog 1SSF izračunali smo izračunavanjem tamnih područja sa svijetlim rubovima u tri PiN diode za svako stanje, kao što je prikazano na slici 5. Gustoća proširenog 1SSF opada sa povećanjem doze protona, pa čak i pri dozi od 1012 cm-2, gustina ekspandiranog 1SSF je znatno niža nego kod neimplantirane PiN diode.
Povećane gustine SF PiN dioda sa i bez implantacije protona nakon opterećenja impulsnom strujom (svako stanje uključuje tri napunjene diode).
Skraćivanje životnog veka nosača takođe utiče na supresiju ekspanzije, a ubrizgavanje protona smanjuje životni vek nosača32,36. Promatrali smo životni vijek nosača u epitaksijalnom sloju debljine 60 µm sa ubrizganim protonima od 1014 cm-2. Od početnog vijeka trajanja nosača, iako implant smanjuje vrijednost na ~10%, naknadnim žarenjem se vraća na ~50%, kao što je prikazano na slici S7. Stoga se životni vijek nosača, smanjen zbog implantacije protona, obnavlja žarenjem na visokoj temperaturi. Iako smanjenje vijeka trajanja nosača za 50% također potiskuje širenje grešaka u slaganju, I-V karakteristike, koje obično zavise od vijeka nosioca, pokazuju samo male razlike između injektiranih i ne-implantiranih dioda. Stoga vjerujemo da PD sidrenje igra ulogu u inhibiciji ekspanzije 1SSF.
Iako SIMS nije otkrio vodonik nakon žarenja na 1600°C, kao što je objavljeno u prethodnim studijama, uočili smo efekat implantacije protona na supresiju ekspanzije 1SSF, kao što je prikazano na slikama 1 i 4. 3, 4. Stoga vjerujemo da PD je usidren atomima vodonika sa gustinom ispod granice detekcije SIMS (2 × 1016 cm-3) ili tačkastim defektima izazvanim implantacijom. Treba napomenuti da nismo potvrdili povećanje otpora u uključenom stanju zbog izduženja 1SSF nakon opterećenja strujnim udarom. Ovo može biti zbog nesavršenih omskih kontakata napravljenih korištenjem našeg procesa, koji će biti eliminirani u bliskoj budućnosti.
U zaključku, razvili smo metodu gašenja za proširenje BPD-a na 1SSF u 4H-SiC PiN diodama koristeći protonsku implantaciju prije proizvodnje uređaja. Pogoršanje I–V karakteristike tokom implantacije protona je beznačajno, posebno pri dozi protona od 1012 cm–2, ali je efekat supresije ekspanzije 1SSF značajan. Iako smo u ovoj studiji proizveli PiN diode debljine 10 µm sa implantacijom protona do dubine od 10 µm, još uvijek je moguće dodatno optimizirati uvjete implantacije i primijeniti ih za proizvodnju drugih tipova 4H-SiC uređaja. Treba uzeti u obzir dodatne troškove za proizvodnju uređaja tokom protonske implantacije, ali će biti slični onima za implantaciju aluminijskih jona, što je glavni proces proizvodnje za 4H-SiC energetske uređaje. Stoga je implantacija protona prije obrade uređaja potencijalna metoda za proizvodnju 4H-SiC bipolarnih energetskih uređaja bez degeneracije.
Kao uzorak korištena je 4-inčna ploča n-tipa 4H-SiC s epitaksijalnim slojem debljine 10 µm i koncentracijom donorskog dopinga od 1 × 1016 cm–3. Prije obrade uređaja, H+ ioni su implantirani u ploču s energijom ubrzanja od 0,95 MeV na sobnoj temperaturi do dubine od oko 10 μm pod normalnim uglom u odnosu na površinu ploče. Prilikom protonske implantacije korišćena je maska na ploči, a ploča je imala preseke bez i sa dozom protona od 1012, 1014 ili 1016 cm-2. Zatim su ioni Al sa dozama protona od 1020 i 1017 cm–3 implantirani preko cijele pločice do dubine od 0–0,2 µm i 0,2–0,5 µm od površine, nakon čega je uslijedilo žarenje na 1600°C kako bi se formirala karbonska kapica za formira ap sloj. -tip. Nakon toga, na stranu supstrata nanijet je kontakt Ni sa stražnje strane, dok je češljasti kontakt Ti/Al s prednje strane 2,0 mm × 2,0 mm, formiran fotolitografijom i postupkom pilinga, nanijet na stranu epitaksijalnog sloja. Konačno, kontaktno žarenje se izvodi na temperaturi od 700 °C. Nakon rezanja vafla na čips, izvršili smo karakterizaciju naprezanja i primjenu.
I–V karakteristike proizvedenih PiN dioda promatrane su pomoću HP4155B poluvodičkog parametarskog analizatora. Kao električni stres, uvedena je impulsna struja od 10 milisekundi od 212,5 A/cm2 tokom 2 sata na frekvenciji od 10 impulsa/sek. Kada smo odabrali nižu gustoću struje ili frekvenciju, nismo primijetili ekspanziju 1SSF čak ni u PiN diodi bez ubrizgavanja protona. Tokom primijenjenog električnog napona, temperatura PiN diode je oko 70°C bez namjernog zagrijavanja, kao što je prikazano na slici S8. Elektroluminiscentne slike su dobijene prije i nakon električnog naprezanja pri gustini struje od 25 A/cm2. Sinhrotronska refleksija incidencije rendgenske topografije koristeći monokromatski snop rendgenskih zraka (λ = 0,15 nm) u Aichi Synchrotron Radiation Center, ag vektor u BL8S2 je -1-128 ili 11-28 (pogledajte ref. 44 za detalje) . ).
Frekvencija napona pri gustoći struje od 2,5 A/cm2 ekstrahuje se sa intervalom od 0,5 V na sl. 2 prema CVC-u svakog stanja PiN diode. Iz srednje vrijednosti naprezanja Vave i standardne devijacije σ napona crtamo krivulju normalne distribucije u obliku isprekidane linije na slici 2 koristeći sljedeću jednačinu:
Werner, MR & Fahrner, WR Pregled materijala, mikrosenzora, sistema i uređaja za primjenu na visokim temperaturama i u teškim uvjetima. Werner, MR & Fahrner, WR Pregled materijala, mikrosenzora, sistema i uređaja za primjenu na visokim temperaturama i u teškim uvjetima.Werner, MR i Farner, WR Pregled materijala, mikrosenzora, sistema i uređaja za primjenu u visokim temperaturama i teškim okruženjima. Werner, MR & Fahrner, WR 对用于高温和恶劣环境应用的材料、微传感器、系统和设备的老 Werner, MR & Fahrner, WR Pregled materijala, mikrosenzora, sistema i uređaja za visoke temperature i štetne primjene okoline.Werner, MR i Farner, WR Pregled materijala, mikrosenzora, sistema i uređaja za primjenu na visokim temperaturama i teškim uvjetima.IEEE Trans. Industrijska elektronika. 48, 249–257 (2001).
Kimoto, T. & Cooper, JA Osnove tehnologije silicijum karbida Osnove tehnologije silicijum karbida: rast, karakterizacija, uređaji i aplikacije Vol. Kimoto, T. & Cooper, JA Osnove tehnologije silicijum karbida Osnove tehnologije silicijum karbida: rast, karakterizacija, uređaji i aplikacije Vol.Kimoto, T. i Cooper, JA Osnove tehnologije silicijum karbida Osnove tehnologije silicijum karbida: rast, karakteristike, uređaji i aplikacije Vol. Kimoto, T. & Cooper, JA 碳化硅技术基础碳化硅技术基础：增长、表征、设备和应用卷。 Kimoto, T. & Cooper, JA Carbon化silicijum tehnološka baza Carbon化silicijum tehnološka baza: rast, opis, oprema i obim primene.Kimoto, T. i Cooper, J. Osnove tehnologije silicijum karbida Osnove tehnologije silicijum karbida: rast, karakteristike, oprema i primena Vol.252 (Wiley Singapore Pte Ltd, 2014).
Veliadis, V. Komercijalizacija SiC-a velikih razmjera: status quo i prepreke koje treba prevazići. alma mater. nauku. Forum 1062, 125–130 (2022).
Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR & Joshi, YK Pregled tehnologija termičkog pakovanja za automobilsku energetsku elektroniku za potrebe vuče. Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR & Joshi, YK Pregled tehnologija termičkog pakovanja za automobilsku energetsku elektroniku za potrebe vuče.Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR i Joshi, YK Pregled tehnologija termičkog pakiranja za automobilsku energetsku elektroniku za potrebe vuče. Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR & Joshi, YK 用于牵引目的的汽车电力电子热封装技术的回顾。 Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR & Joshi, YKBroughton, J., Smet, V., Tummala, RR i Joshi, YK Pregled tehnologije termičkog pakiranja za automobilsku energetsku elektroniku za potrebe vuče.J. Electron. Paket. trans. ASME 140, 1-11 (2018).
Sato, K., Kato, H. & Fukushima, T. Razvoj SiC primijenjenog vučnog sistema za sljedeću generaciju Shinkansen brzih vozova. Sato, K., Kato, H. & Fukushima, T. Razvoj SiC primijenjenog vučnog sistema za sljedeću generaciju Shinkansen brzih vozova.Sato K., Kato H. i Fukushima T. Razvoj primijenjenog SiC vučnog sistema za sljedeću generaciju brzih Shinkansen vozova.Sato K., Kato H. i Fukushima T. Razvoj vučnog sistema za SiC aplikacije za sljedeću generaciju brzih Shinkansen vlakova. Dodatak IEEJ J. Ind. 9, 453–459 (2020).
Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. & Okumura, H. Izazovi za realizaciju visoko pouzdanih SiC energetskih uređaja: Iz trenutnog statusa i problema sa SiC pločicama. Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. & Okumura, H. Izazovi za realizaciju visoko pouzdanih SiC energetskih uređaja: Iz trenutnog statusa i problema sa SiC pločicama.Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. i Okumura, H. Problemi u implementaciji visokopouzdanih SiC energetskih uređaja: počevši od trenutnog stanja i problema wafer SiC. Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. & Okumura, H. Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. & Okumura, H. Izazov postizanja visoke pouzdanosti u SiC energetskim uređajima: od SiC 晶圆的电视和问题设计。Senzaki J, Hayashi S, Yonezawa Y. i Okumura H. Izazovi u razvoju visokopouzdanih energetskih uređaja na bazi silicijum karbida: pregled stanja i problema povezanih sa pločicama od silicijum karbida.Na IEEE međunarodnom simpoziju o fizici pouzdanosti (IRPS) 2018. (Senzaki, J. et al. ur.) 3B.3-1-3B.3-6 (IEEE, 2018).
Kim, D. & Sung, W. Poboljšana otpornost na kratki spoj za 1.2kV 4H-SiC MOSFET pomoću dubokog P-bunara implementiranog kanaliziranom implantacijom. Kim, D. & Sung, W. Poboljšana otpornost na kratki spoj za 1.2kV 4H-SiC MOSFET pomoću dubokog P-bunara implementiranog kanaliziranom implantacijom.Kim, D. i Sung, V. Poboljšana otpornost na kratki spoj za 1,2 kV 4H-SiC MOSFET koristeći duboki P-bunarić implementiran implantacijom kanala. Kim, D. & Sung, W. 使用通过沟道注入实现的深P 阱提高了1.2kV 4H-SiC MOSFET 的短路耐用性 Kim, D. & Sung, W. P 阱提高了1.2kV 4H-SiC MOSFETKim, D. i Sung, V. Poboljšana tolerancija kratkog spoja 1,2 kV 4H-SiC MOSFET-a koristeći duboke P-bunare implantacijom kanala.IEEE Electronic Devices Lett. 42, 1822–1825 (2021).
Skowronski M. et al. Rekombinacijom pojačano kretanje defekata u 4H-SiC pn diodama usmjerenim naprijed. J. Application. fizike. 92, 4699–4704 (2002).
Ha, S., Mieszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, LB Konverzija dislokacije u 4H epitaksiji silicijum karbida. Ha, S., Mieszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, LB Konverzija dislokacije u 4H epitaksiji silicijum karbida.Ha S., Meszkowski P., Skowronski M. i Rowland LB Transformacija dislokacije tokom 4H epitaksije silicijum karbidom. Ha, S., Mieszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, LB 4H 碳化硅外延中的位错转换。 Ha, S., Mieszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, LB 4H Ha, S., Meszkowski, P., Skowronski, M. i Rowland, LBPrijelaz dislokacije 4H u epitaksiji silicijum karbida.J. Crystal. Rast 244, 257–266 (2002).
Skowronski, M. & Ha, S. Degradacija heksagonalnih bipolarnih uređaja na bazi silicijum-karbida. Skowronski, M. & Ha, S. Degradacija heksagonalnih bipolarnih uređaja na bazi silicijum-karbida.Skowronski M. and Ha S. Degradacija heksagonalnih bipolarnih uređaja na bazi silicijum karbida. Skowronski, M. & Ha, S. 六方碳化硅基双极器件的降解。 Skowronski M. & Ha S.Skowronski M. and Ha S. Degradacija heksagonalnih bipolarnih uređaja na bazi silicijum karbida.J. Application. fizika 99, 011101 (2006).
Agarwal, A., Fatima, H., Haney, S. & Ryu, S.-H. Agarwal, A., Fatima, H., Haney, S. & Ryu, S.-H.Agarwal A., Fatima H., Heini S. i Ryu S.-H. Agarwal, A., Fatima, H., Haney, S. & Ryu, S.-H. Agarwal, A., Fatima, H., Haney, S. & Ryu, S.-H.Agarwal A., Fatima H., Heini S. i Ryu S.-H.Novi mehanizam degradacije za visokonaponske SiC energetske MOSFET-ove. IEEE Electronic Devices Lett. 28, 587–589 (2007).
Caldwell, JD, Stahlbush, RE, Ancona, MG, Glembocki, OJ & Hobart, KD O pokretačkoj sili za rekombinacijom indukovano kretanje greške slaganja u 4H–SiC. Caldwell, JD, Stahlbush, RE, Ancona, MG, Glembocki, OJ & Hobart, KD O pokretačkoj sili za rekombinacijom indukovano kretanje greške slaganja u 4H-SiC.Caldwell, JD, Stalbush, RE, Ancona, MG, Glemboki, OJ, i Hobart, KD O pokretačkoj sili rekombinacijom indukovanog kvara slaganja u 4H-SiC. Caldwell, JD, Stahlbush, RE, Ancona, MG, Glembocki, OJ & Hobart, KD 关于4H-SiC 中复合引起的层错运动的驱动力。 Caldwell, JD, Stahlbush, RE, Ancona, MG, Glembocki, OJ & Hobart, KDCaldwell, JD, Stalbush, RE, Ancona, MG, Glemboki, OJ, i Hobart, KD, O pokretačkoj sili rekombinacijom induciranog kvara slaganja u 4H-SiC.J. Application. fizike. 108, 044503 (2010).
Iijima, A. & Kimoto, T. Elektronski energetski model za formiranje pojedinačnog Shockleyevog kvara u 4H-SiC kristalima. Iijima, A. & Kimoto, T. Elektronski energetski model za formiranje pojedinačnog Shockleyevog kvara u 4H-SiC kristalima.Iijima, A. i Kimoto, T. Elektronsko-energetski model formiranja pojedinačnih defekata Šoklijevog pakovanja u 4H-SiC kristalima. Iijima, A. & Kimoto, T. 4H-SiC 晶体中单Shockley 堆垛层错形成的电子能量模型。 Iijima, A. & Kimoto, T. Elektronski energetski model formiranja pojedinačnog Shockleyevog kvara u 4H-SiC kristalu.Iijima, A. i Kimoto, T. Elektronsko-energetski model formiranja jednodefektnog Šoklijevog pakovanja u 4H-SiC kristalima.J. Application. fizika 126, 105703 (2019).
Iijima, A. & Kimoto, T. Procjena kritičnog stanja za širenje/kontrakciju pojedinačnih Shockleyjevih grešaka u slaganju u 4H-SiC PiN diodama. Iijima, A. & Kimoto, T. Procjena kritičnog stanja za širenje/kontrakciju pojedinačnih Shockleyjevih grešaka u slaganju u 4H-SiC PiN diodama.Iijima, A. i Kimoto, T. Procjena kritičnog stanja za ekspanziju/kompresiju pojedinačnih Shockleyjevih defekata pakiranja u 4H-SiC Pin-diodama. Iijima, A. & Kimoto, T. 估计4H-SiC Pin 二极管中单个Shockley 堆垛层错膨胀/收缩的临界条件。 Iijima, A. & Kimoto, T. Procjena uvjeta širenja/kontrakcije jednog Shockleyevog sloja u 4H-SiC PiN diodama.Iijima, A. i Kimoto, T. Procjena kritičnih uslova za širenje/kompresiju Shockleyjevog pakiranja s jednim defektom u 4H-SiC Pin-diodama.fizika aplikacija Wright. 116, 092105 (2020).
Mannen, Y., Shimada, K., Asada, K. & Ohtani, N. Akcioni model kvantne bušotine za formiranje jedne Shockleyeve greške slaganja u 4H-SiC kristalu u neravnotežnim uslovima. Mannen, Y., Shimada, K., Asada, K. & Ohtani, N. Akcioni model kvantne bušotine za formiranje jedne Shockleyeve greške slaganja u 4H-SiC kristalu u neravnotežnim uslovima.Mannen Y., Shimada K., Asada K. i Otani N. Model kvantne bušotine za formiranje jedne Shockleyeve greške slaganja u 4H-SiC kristalu u neravnotežnim uslovima.Mannen Y., Shimada K., Asada K. i Otani N. Model interakcije kvantnih bunara za formiranje pojedinačnih Shockleyjevih grešaka slaganja u 4H-SiC kristalima u neravnotežnim uvjetima. J. Application. fizike. 125, 085705 (2019).
Galeckas, A., Linnros, J. & Pirouz, P. Greške u slaganju izazvane rekombinacijom: Dokaz za opći mehanizam u heksagonalnom SiC-u. Galeckas, A., Linnros, J. & Pirouz, P. Greške u slaganju izazvane rekombinacijom: Dokaz za opći mehanizam u heksagonalnom SiC-u.Galeckas, A., Linnros, J. i Pirouz, P. Rekombinacijom izazvani defekti pakovanja: dokaz zajedničkog mehanizma u heksagonalnom SiC-u. Galeckas, A., Linnros, J. & Pirouz, P. 复合诱导的堆垛层错：六方SiC 中一般机制的证据。 Galeckas, A., Linnros, J. & Pirouz, P. Dokazi za opšti mehanizam kompozitnog indukcionog sloja: 六方SiC.Galeckas, A., Linnros, J. i Pirouz, P. Rekombinacijom izazvani defekti pakovanja: dokaz zajedničkog mehanizma u heksagonalnom SiC-u.fizike pastor Rajt. 96, 025502 (2006).
Ishikawa, Y., Sudo, M., Yao, Y.-Z., Sugawara, Y. & Kato, M. Ekspanzija jedne Shockleyeve greške slaganja u epitaksijalnom sloju 4H-SiC (11 2 ¯0) uzrokovane elektronom zračenje snopom.Ishikawa, Y., M. Sudo, Y.-Z zračenje snopom.Ishikawa, Y., Sudo M., Y.-Z Psychology.Box, Û., M. Sudo, Y.-Z Chem., J. Chem., 123, 225101 (2018).
Kato, M., Katahira, S., Ichikawa, Y., Harada, S. & Kimoto, T. Opservacija rekombinacije nosača u pojedinačnim Shockleyjevim greškama slaganja i na parcijalnim dislokacijama u 4H-SiC. Kato, M., Katahira, S., Ichikawa, Y., Harada, S. & Kimoto, T. Opservacija rekombinacije nosača u pojedinačnim Shockleyjevim greškama slaganja i na parcijalnim dislokacijama u 4H-SiC.Kato M., Katahira S., Itikawa Y., Harada S. i Kimoto T. Opservacija rekombinacije nosača u pojedinačnim defektima pakiranja Shockleya i parcijalnim dislokacijama u 4H-SiC. Kato, M., Katahira, S., Ichikawa, Y., Harada, S. & Kimoto, T. Kato, M., Katahira, S., Ichikawa, Y., Harada, S. & Kimoto, T.Kato M., Katahira S., Itikawa Y., Harada S. i Kimoto T. Opservacija rekombinacije nosača u pojedinačnim defektima pakiranja Shockleya i parcijalnim dislokacijama u 4H-SiC.J. Application. fizika 124, 095702 (2018).
Kimoto, T. & Watanabe, H. Inženjering defekta u SiC tehnologiji za visokonaponske energetske uređaje. Kimoto, T. & Watanabe, H. Inženjering defekta u SiC tehnologiji za visokonaponske energetske uređaje.Kimoto, T. i Watanabe, H. Razvoj defekta u SiC tehnologiji za visokonaponske energetske uređaje. Kimoto, T. & Watanabe, H. 用于高压功率器件的SiC 技术中的缺陷工程。 Kimoto, T. & Watanabe, H. Inženjering defekta u SiC tehnologiji za visokonaponske energetske uređaje.Kimoto, T. i Watanabe, H. Razvoj defekta u SiC tehnologiji za visokonaponske energetske uređaje.aplikacijska fizika Express 13, 120101 (2020).
Zhang, Z. & Sudarshan, TS Epitaksija silicijum karbida bez dislokacija u bazalnoj ravni. Zhang, Z. & Sudarshan, TS Epitaksija silicijum karbida bez dislokacija u bazalnoj ravni.Zhang Z. i Sudarshan TS Epitaksija silicijum karbida bez dislokacija u bazalnoj ravni. Zhang, Z. & Sudarshan, TS 碳化硅基面无位错外延。 Zhang, Z. i Sudarshan, TSZhang Z. i Sudarshan TS Epitaksija bazalnih ravni od silicijum karbida bez dislokacija.izjava. fizike. Wright. 87, 151913 (2005).
Zhang, Z., Moulton, E. & Sudarshan, TS Mehanizam eliminacije dislokacija bazalne ravni u tankim filmovima SiC epitaksijom na ugraviranoj podlozi. Zhang, Z., Moulton, E. & Sudarshan, TS Mehanizam eliminacije dislokacija bazalne ravni u tankim filmovima SiC epitaksijom na ugraviranoj podlozi.Zhang Z., Moulton E. i Sudarshan TS Mehanizam eliminacije dislokacija osnovne ravni u tankim filmovima SiC epitaksijom na ugraviranoj podlozi. Zhang, Z., Moulton, E. & Sudarshan, TS 通过在蚀刻衬底上外延消除SiC 薄膜中基面位错的机制。 Zhang, Z., Moulton, E. & Sudarshan, TS Mehanizam eliminacije SiC tankog filma jetkanjem supstrata.Zhang Z., Moulton E. i Sudarshan TS Mehanizam eliminacije dislokacija osnovne ravni u tankim filmovima SiC epitaksijom na ugraviranim podlogama.fizika aplikacija Wright. 89, 081910 (2006).
Shtalbush RE et al. Prekid rasta dovodi do smanjenja dislokacija u bazalnoj ravni tokom 4H-SiC epitaksije. izjava. fizike. Wright. 94, 041916 (2009).
Zhang, X. & Tsuchida, H. Konverzija dislokacija bazalne ravni u dislokacije rubnih navoja u 4H-SiC epislojevima žarenjem na visokoj temperaturi. Zhang, X. & Tsuchida, H. Konverzija dislokacija bazalne ravni u dislokacije rubnih navoja u 4H-SiC epislojevima žarenjem na visokoj temperaturi.Zhang, X. i Tsuchida, H. Transformacija dislokacija bazalne ravni u dislokacije rubnih navoja u epitaksijalnim slojevima 4H-SiC žarenjem na visokoj temperaturi. Zhang, X. & Tsuchida, H. 通过高温退火将4H-SiC 外延层中的基面位错转化为螺纹刃位错。。。 Zhang, X. & Tsuchida, H. 通过高温退火将4H-SiCZhang, X. i Tsuchida, H. Transformacija dislokacija osnovne ravni u dislokacije ruba filamenta u epitaksijalnim slojevima 4H-SiC žarenjem na visokoj temperaturi.J. Application. fizike. 111, 123512 (2012).
Song, H. & Sudarshan, TS Konverzija dislokacije u bazalnoj ravni u blizini interfejsa episloj/supstrat u epitaksijalnom rastu od 4° van ose 4H–SiC. Song, H. & Sudarshan, TS Konverzija dislokacije u bazalnoj ravni u blizini interfejsa episloj/supstrat u epitaksijalnom rastu od 4° van ose 4H–SiC.Song, H. i Sudarshan, TS Transformacija dislokacija bazalne ravni u blizini epitaksijalnog sloja/supstrata interfejsa tokom epitaksijalnog rasta 4H–SiC van ose. Song, H. & Sudarshan, TS 在4° 离轴4H-SiC 外延生长中外延层/衬底界面附近的基底平面位鍙 Song, H. & Sudarshan, TS 在4° 离轴4H-SiC Song, H. i Sudarshan, TSPlanarni dislokacijski prijelaz supstrata blizu granice epitaksijalnog sloja/supstrata tokom epitaksijalnog rasta 4H-SiC izvan ose 4°.J. Crystal. Rast 371, 94–101 (2013).
Konishi, K. et al. Pri velikoj struji, širenje greške slaganja dislokacija u bazalnoj ravni u epitaksijalnim slojevima 4H-SiC transformira se u dislokacije ruba filamenta. J. Application. fizike. 114, 014504 (2013).
Konishi, K. et al. Dizajnirajte epitaksijalne slojeve za bipolarne nerazgradive SiC MOSFET-ove otkrivanjem proširenih nukleacijskih mjesta greške slaganja u operativnoj rendgenskoj topografskoj analizi. AIP Advanced 12, 035310 (2022).
Lin, S. et al. Utjecaj dislokacijske strukture bazalne ravni na širenje jedne greške slaganja Shockleyjevog tipa tokom raspada struje 4H-SiC pin dioda. Japan. J. Application. fizike. 57, 04FR07 (2018).
Tahara, T., et al. Kratki životni vijek manjinskih nosača u epislojevima 4H-SiC bogatim dušikom koristi se za suzbijanje grešaka u slaganju u PiN diodama. J. Application. fizike. 120, 115101 (2016).
Tahara, T. et al. Ovisnost o koncentraciji injektiranih nosilaca širenja pojedinačnih Shockleyjevih grešaka u 4H-SiC Pin diodama. J. Application. Fizika 123, 025707 (2018).
Mae, S., Tawara, T., Tsuchida, H. & Kato, M. Mikroskopski FCA sistem za mjerenje vijeka trajanja nosioca s razlučivanjem dubine u SiC. Mae, S., Tawara, T., Tsuchida, H. & Kato, M. Mikroskopski FCA sistem za mjerenje vijeka trajanja nosioca s razlučivanjem dubine u SiC.Mei, S., Tawara, T., Tsuchida, H. i Kato, M. FCA mikroskopski sistem za mjerenja vijeka trajanja nosioca s razlučivanjem dubine u silicijum karbidu. Mae, S.、Tawara, T.、Tsuchida, H. & Kato, M. 用于SiC 中深度分辨载流子寿命测量的显微FCA 系统〟、 Mae, S.、Tawara, T.、Tsuchida, H. & Kato, M. Za SiC srednje dubine 分辨载流子 mjerenje vijeka trajanja的月微FCA sistem。Mei S., Tawara T., Tsuchida H. i Kato M. Micro-FCA sistem za mjerenja vijeka trajanja nosioca s razlučivanjem dubine u silicijum karbidu.alma mater science Forum 924, 269–272 (2018).
Hirayama, T. et al. Dubina distribucije vijeka trajanja nosača u debelim epitaksijalnim slojevima 4H-SiC mjerena je nedestruktivno korištenjem vremenske rezolucije apsorpcije slobodnog nosača i ukrštene svjetlosti. Prebacite se na nauku. metar. 91, 123902 (2020).
Vrijeme objave: Nov-06-2022
